中古 THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9105608 を販売中
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ID: 9105608
ウェーハサイズ: 8"
Film thickness measurement system, 8"
Fan: Clean Air Products P/N: CAP109BH
(1) Diffuser, Large
(1) Diffuser, Small
(2) Monitors
Printer, P/N: P-90W
(1) AC Power Conditioner, P/N: 012-007
(1) Monitor Chase Video
(1) Brooks PRI Robot
Input: 1Ø, 110V, 50/60Hz, 7.5/10A.
THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600Bは、半導体プロセスにおけるウェーハの品質と均一性を迅速に非破壊測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。高度なオプトエレクトロニクスセンサーとスキャン/イメージングオプティクスを組み合わせることで、ウェハ特性における最小の不一致を検出することができます。Optiprobe 26000Bの主な特徴は、1.3µm分解能までの高精度で反復可能な光学測定、非接触赤外線イメージング、およびオンラインリアルタイムプロセスフィードバックです。これは、RMS、表面粗さ、平坦度、および重要な寸法を測定するためにCO2またはYAGレーザー照明光学を使用しています。このユニットは、ウェーハの位置、欠陥カバレッジのパーセンテージ、およびボイディングレベルを正確に測定できます。Optiprobe 26000Bの高度な粒子検出機は、ウェーハ上の粒子数を正確に測定し、最適なウェーハ品質と表面性能を保証します。THERMA-WAVE OPTI-PROBE 2600-Bは半導体製造市場向けに設計されており、あらゆる加工ウェハ特性評価ワークステーションに最適なアドオンです。既存のテストおよびプロセス制御システムに簡単に統合できます。リモート診断機能により、トラブルシューティングと修理を同時に行うことができ、ダウンタイムを最小限に抑え、ラボの生産性を最大限に高めます。このツールはLINUXおよびUNIXオペレーティングアセット上で動作し、WindowsおよびMacintosh環境をサポートします。アップグレード可能なソフトウェアにより、既存の機械との容易なカスタマイズと統合が可能になり、さまざまなサードパーティ製ハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントをサポートします。また、Windows NT、 Alpha、 LabVIEWなどの多くのプロセス制御システムを簡単に統合できるオープンアーキテクチャも備えています。OPTI-PROBE 2600 Bは、信頼性の高い正確なウェハテストと計測をお探しのあらゆるチップメーカーに最適なソリューションです。その堅牢な設計と機能により、ウェーハの製造に不可欠なツールとなっています。
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