中古 THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600 #293752332 を販売中

ID: 293752332
Film thickness measurement system.
THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600は、ナノメートルレベルでウェーハの電気的、光学的、熱的特性を正確に測定する高度なウェーハ試験および計測機器です。OPTIPROBE 2600は、赤外線(IR)サーモグラフィーと散乱計と多波長光反射計を使用しています。この技術の組み合わせは、電気接触抵抗、デバイス温度、表面粗さ、欠陥検出などの幅広い測定を提供します。THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600は、ユーザーフレンドリーなWindowsベースのインターフェイスを備えた高度に自動化されたシステムであるように設計されています。強力なプロセス制御機能とデータ分析ツールを提供し、本番データを迅速に分析、報告、可視化できます。さらに、OPTIPROBE 2600には、生の研究データを有用なプロセスパラメータに簡単に変換できる処理ソフトウェアが付属しています。THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600は優れた性能と精度を提供します。高精度なIR・光学データ収集システムにより、デバイス特性のナノメートルレベルの解像度を実現します。このユニットは、高度なセルフテストおよびキャリブレーションモニタリングマシンを備えており、工具の性能と精度を一貫して検証します。OPTIPROBE 2600には、スループットを向上させ、コストを削減するための高度な機能も多数搭載されています。たとえば、高度なパターン認識および画像処理アルゴリズムを使用したサーマルマッピングをサポートします。さらに、自動解析を受ける前に誤ったプローブを検出し、手動で介入することなく故障したセルを破棄することができます。さらに、THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600は、複数のプローブと複数のレーザービームで設計することができ、ユーザーは同時にテスト分析と測定を行うことができます。全体として、OPTIPROBE 2600は、高精度、高精度、再現性を提供する高度なウェーハ試験および計測機器です。最小限の設置面積と高度な自動化機能により、研究室と工業生産環境の両方に最適です。
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