中古 TFM TFM-100 #9252380 を販売中
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ID: 9252380
Coating and thin film thickness analyzer
Thickness range: 0.5 - 100 um
Wavelength range: 350 - 1,050 nm
Spot size: Approximately 4 mm
Repeatability (x10): < ±0.001 um at 1 um SiO2 on Si wafer
Light source: Tungsten halogen 1-6 W
Sample stage: 20 x 20 cm
Dimensions:
Detector: 22 x 22 x 7 cm
Light source: 12 x 17 x 5 cm
Scope: 20 x 20 x 17 cm
Power supply: 12 V, 1 A.
TFM TFM-100は、TFM Corporationによって設計および製造されたロボットウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、平面表面や球面表面の寸法や半径などの半導体ウェーハの物理的属性や、サイト固有の欠陥などのその他のパラメータを効率的に測定および分析することができます。TFM-100はメインフレーム、検査ヘッドユニット、ソフトウェアの3つの主要コンポーネントで構成されています。メインフレームは44インチの高さを持ち、アルミニウムと複合プラスチック構造で作られています。フレームレスでコンパクトな設計は、ユニットの内部コンポーネントに安全な宿泊施設を提供するのに役立ちます。検査ヘッドユニットは、10ナノメートルの分解能を持つ2次元エアベアリングエンコーダで、振動のない迅速なスキャンが可能です。さらに、機械は手動モードと自動モードの両方で動作し、ユーザーはそれに応じて機能と精度をカスタマイズすることができます。このツールには、いくつかのソフトウェアオプションもあります。検査ソフトウェアスイートには40種類以上のアプリケーションがあり、各アプリケーションはウェーハの詳細な分析のために適切な物理的属性と欠陥を測定および分析することに特化しています。また、欠陥検出、二重プロット、ユーザー定義アラームなどの独自のテスト機能を備えており、潜在的な問題を迅速かつ正確に検出できます。さらに、TFM TFM-100はZAxis 2000コントローラを使用し、高速パターンジェネレータTMS-146で最適化します。この組み合わせにより、異なる材料TFM-100素早く分析し、幾何学的形状を正確に測定することができます。メカニカルベンチに直接取り付けられているため、貴重なリソースとスペースを節約できます。TFM TFM-100は、メインフレームが最大5つのウエハに対応できるため、複数のウエハテストにも使用できます。さらに、装置とウェーハの両方を損傷から保護するいくつかの機能を備えています。また、障害検出および診断機能を備えているため、潜在的な問題を迅速かつ効果的に解決できます。TFM-100は、世界中の実験室でテストおよび検査されているため、効率的で信頼性の高い価値を提供します。TFM TFM-100は、精度、信頼性、堅牢な設計により、ウェーハの測定および分析に最適なソリューションです。
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