中古 TESA Micro-Hite #9182288 を販売中
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TESA Micro-Hiteは、シリコンウェーハの高精度、高スループット測定用に設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。これは、XYZ軸のウェーハを正確かつ正確に測定するために、多軸3Dステージを利用しています。統合された顕微鏡は正確な測定のためのウェーハ表面の拡大されたイメージを提供します、レーザースキャナーの頭部はあらゆる3Dプロフィールの速く、高精度の測定を提供します。Micro-Hiteシステムには強力なTESAソフトウェアスイートが搭載されており、ウェーハサーフェスの高速で自動的なキャプチャ、分析、レポート作成が可能です。直感的なユーザーインターフェイスと自動データ収集により、ユニットの効率的な運用が可能になり、ウェーハテストの精度とスループットが向上します。TESAソフトウェアは、レシピ、CAMP、 MAP、 SCAPE、 CADフォーマットなど、さまざまなファイルタイプを出力することができ、さまざまな計測データベースやフォーマットとの互換性を可能にします。このマシンには、ウェーハをより正確に測定するように設計されたキャリブレーションされたステージも含まれているため、プロセス開発および故障解析の厳しい要求に最適です。このツールのデュアル測定科学技術は、接触法と非接触法を組み合わせ、精度と再現性を向上させます。このアセットは汎用性が高く、シリコンウェーハだけでなく、材料特性評価、ナノ加工、MOEMS、 Opto-Electronicデバイス試験も可能です。高精度で再現性に優れたTESA Micro-Hiteは、プログラム可能な温度制御ステージを備えています。これにより、材料や用途に応じて各測定に必要な温度範囲と設定を備えた厳密に制御された環境で測定を行うことができます。ウェーハテストや計測に加えて、Micro-Hiteはプロセス開発や品質検証にも使用できます。このモデルは高度にカスタマイズ可能で、自動イメージング、自動サンプル作成、ステージ振動分離、追加スキャン速度など、さまざまなオプションを使用してお客様のニーズに合わせてカスタマイズできます。TESA Micro-Hiteは、ユーザーの利便性を考慮した人間工学に基づいて設計されています。また、最新の安全基準と最高品質の基準を製造プロセスに組み込んでいます。コンパクトで堅牢で、費用対効果の高いソリューションのために簡単に輸送できます。その耐久性の高い構造は、最新のウェーハ処理およびセットアップ要件の厳しさを処理するように設計されており、ウェーハ試験および計測に最適なソリューションです。
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