中古 TAYLOR HOBSON Surtronic 3P CPO #9012791 を販売中
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ID: 9012791
Profilometer
Parameters: Ra, Rymax, (RmaxDIN) and RTM (RzDIN).
Traverse speeds: 1mm/s for measurement, 0.25mm/s for recording
Measurement ranges: Ra 0-999.99 and 0-99.99μm, 0-9999 μin
Readout: Digital; liquid crystal display
cut-off values: traverse (an accessory is available to vary the traverse length on the 0.8mm length on the 0.8mm long stroke cut-off).
Height of digits: approx. 0.25 inches
Standard traverse lengths: Nominally 5X selected cut off + 0.5mm i.e. 1.75, 4.5, 13mm
Display: Four digits, decima ("E") and measuring sign (---)
Output for recording: 100mV/μm on 99.9μm range
100mV/μm on 9.99μm range
Minimum load impedance for recorder output: 10k
*Overall accuracy of Ry (RmaxDIN) & Rtm (RzDIN) measurement: To within 2% of reading +/- 1 unit in te least significant decimal.
TAYLOR HOBSON Surtronic 3P CPO （Coordinate Measuring Point）は、世界中の半導体製造工場や研究所で使用される世界クラスのウェーハ試験および計測機器です。ウエハーの物理的特性をサブナノメートル分解能で測定し、リアルタイムでインラインで再現性と精度に優れた結果を得るように設計されています。このシステムは、スタイラスおよびレーザスタイラスプローブを使用して、ウェーハの平坦度、幾何学的寸法、臨界寸法および表面粗さを評価します。3点接触装置を採用し、正確かつ再現性の高い測定が可能です。この接点は、モーションコントロールエレクトロニクスが管理するスケールフィードバックマシンを介して正確に配置され、ツールは別のプローブタイプを使用してウェーハ形状の変化を検出します。アセットはまた、ウェーハの重要な角度を監視し、角度や形状を厳密に制御する必要がある高度な半導体製造プロセスに最適です。プローブをウェーハに簡単かつ正確にアライメントするための自動ビジョンモデルを搭載し、複雑な構造のセットアップと測定を迅速かつ効率的に行います。測定操作のデータは、分析とトレーサビリティの両方のために機器内に保存、管理、報告することができます。Surtronic 3P CPOの柔軟なソフトウェアスイートでは、カスタムプログラムやアルゴリズムを作成して、個々のユーザーのニーズに合わせて測定を調整することもできます。TAYLOR HOBSONは優れたカスタマーサービスとサポートを提供し、すべてのユーザーがTAYLOR HOBSON Surtronic 3P CPO技術の最大の利点を得ることを保証します。また、ユーザーがシステムの機能の全範囲を使用し、計測機能を利用できるようにするための技術トレーニングも提供します。
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