中古 TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO #9012955 を販売中

TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPOは、ウェーハ表面を正確に測定および検査するために開発された自動3D表面試験および計測装置です。このシステムは、キャパシタンス変位センサを使用して手動および自動化された操作を行うガントリーベースのCNC制御サーフェスプロファイラです。それは研究開発および生産の実験室のためにとりわけ設計されています。Surtronic 3 CPOの主要なハードウェアコンポーネントは、線形変位測定ユニット、可変速度スキャン機能、1,250mm x 1,250mmステージ（すなわち横方向エリア）、および1,200mmのZ軸移動の高さで構成されています。また、サンプルアライメントと再現性のための1軸、3軸、5軸の自動機能も備えています。さらに、ステージエンコーダと可動LED光源を内蔵し、測定の再現性と機能検査の向上を図っています。サンプル固有のディスプレイを使用すると、表面プロファイルと重要なフィーチャー情報、および平坦度、バンプ高さ、波長などのその他の表面特性を表示できます。TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPOは、X、 Y、 Z軸方向のプロファイル、表面スキャン、またはウェーハ測定によって測定することができます。さらに、TSFE （Total Surface Form Error）またはTIR （Total Runout）を測定し、結果を2Dグラフまたは3Dサーフェスマッピングのレイアウトで表示できます。Surtronic 3 CPOの高度なソフトウェアは、レポートとデータ分析を自動化し、研究、生産、品質保証アプリケーションに最適です。TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPOは、動作面では最大15 μ mの高精度な線形精度を有し、様々なサンプルやプローブ設定で動作可能です。さらに、高解像度のマルチチャンネルレーザーライン三角センサを組み込み、特許取得済みの技術ラインスキャン手法と組み合わせて、非常に高い精度で表面特性を測定します。環境保護を強化するために、Surtronic 3 CPOは密閉された乾燥した測定チャンバーと連続フィードバック制御機構を使用して、軸方向の空気湿度と温度レベルを維持します。全体として、TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPOは、研究、開発、製造業務におけるウェーハ試験および計測作業に適しています。このツールは豊富な機能を備えており、簡単なセットアップと再現性と信頼性の高い正確な測定を可能にします。