中古 TAMAR Waferscan 300 #293636438 を販売中

TAMAR Waferscan 300は、生産環境向けに設計された包括的なウェハテストおよび計測機器です。半導体ウェーハの測定・解析において、高精度・高精度を実現します。フィン幅やゲート長などの小さな幾何学的特徴を正確にキャプチャする高解像度スキャンステージや、デバイスの微細構造を検査するための高解像度光学システムを備えています。このユニットには、ウェーハ表面の正確な測定を提供する信頼性の高い正確なレーザー干渉計が含まれています。高度な画像処理アルゴリズムとの統合により、ウェーハ表面の地形を正確に解析・測定します。自動検出アルゴリズムにより、表面のレーザー散乱による測定またはデータポイントの潜在的な誤差を検出することにより、精度がさらに向上します。TAMARマシンは、ユーザーがさまざまな領域を観察し、分析するために光学ツールの倍率を迅速に調整することができるように、電動光学ズームを利用しています。また、高品質のCCDカメラを搭載し、非常に高い精度で画像をキャプチャします。このアセットには、ユーザーが測定および画像分析の結果を確認するための多目的モニターも含まれています。Waferscan 300はさらに、i-lineおよびKrFフィルムの検査機能を提供し、デバイス層の厚さを測定することができます。さらに、このモデルはフォトレジストの厚さ測定値を正確に分析することができ、ユーザーは寸法とフィーチャーの解像度が許容範囲内であることを確認することができます。自動化された光学アライメント・プロシージャは、機器の光学系の望ましいアライメントをすばやく達成するための簡単で正確な方法をユーザーに提供します。この精密アライメント機能は、生産環境において非常に貴重なものです。また、ウェーハ表面の平坦度を測定することができ、デバイスの品質に影響を与える潜在的な問題を正確に特定して対処することができます。最後に、このユニットは、統計データを迅速に抽出し、情報に基づいた意思決定を迅速に行うことができるデータ分析ツールとレポート機能の配列を提供します。