中古 TABER 5135 #9081963 を販売中
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TABER 5135は、ウェーハ処理中の集積回路の電気的および物理的特性を測定するために使用されるウェーハ試験および計測機器です。精密レーザー干渉計を使用して、ウェーハの厚さ、プロファイル、平坦度、臨界寸法、平坦度を正確に測定します。さらに、マルチプレクサ、ショート/オープンサーキットテスター、ダイオード/LEDプローブなど、さまざまな電気部品を搭載しており、部品レベルからウェーハ全体までの電気特性のテストが可能です。5135システムは非常に敏感で、正確で険しく、ウェーハの製作または研究開発の実験室の産業使用のために設計されています。高解像度カメラと空間光モジュレータ(SLM)を搭載し、ウエハの形状、パターン、表面をキャプチャできます。SLMは構造化された光をウェーハに投影するためにも使用され、表面の地形に関する情報を提供し、高精度で画像を生成するために使用されます。TABER 5135にはマルチプレクサチャンネルとダイオード/LEDライトプローブ測定機能もあります。これにより、抵抗、静電容量、電圧および電流、さらには信号応答、信号ノイズ、信号整合性を測定する多機能アナライザなどの電気パラメータ測定が可能になります。その他の電気測定機能には、インピーダンス測定と過渡電圧/電流測定が含まれます。さらに、ウェーハレベルのバーンイン試験、コンポーネントおよび回路レベルの測定、およびオープン/ショートテストにも使用できます。5135は非常に汎用性の高いマシンであり、複数のテストシナリオに対応できます。自動化されたセットアップとテストを可能にする強力なソフトウェアスイートを備えており、特性評価、キャリブレーション、または故障解析のための高度な画像解析機能も備えています。このツールはまた、柔軟なデータ分析能力を提供し、ユーザーは簡単に自分の結果を保存、分析、レポートすることができます。最終的に、TABER 5135は、強力で最先端のウェーハテストと計測資産を表しています。これは、オペレータの監視を最小限に抑え、信頼性の高い正確な測定を提供するように設計されており、ウェーハ製造ラボや研究開発アプリケーションに最適です。その強力なイメージングおよび電気試験機能は、ウェーハの特性評価にオールインワンソリューションを提供し、その柔軟性とスケーラビリティは、あらゆるウェーハ製造プロセスに不可欠です。
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