中古 SSM 495 #293796070 を販売中

SSM 495は、マイクロエレクトロニクス製造施設で使用するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムには、ウェーハ検査、計測、プロセス監視のためのサブシステムが組み合わされています。ウエハ検査には、高解像度のイメージング機能、欠陥のレビューおよび分類機能が含まれています。これにより、ウェーハの欠陥をすばやく特定して分類するだけでなく、欠陥シンクのトリガー機構を提供することができます。また、走査型電子顕微鏡（SEM）やフォーカスイオンビーム（FIB）イメージング機能も搭載しており、欠陥を詳細なレベルで調べることができます。計測のために、このツールは、ウェーハの電気的、機械的および光学的特性を評価するために使用できるさまざまな種類の測定を提供します。これには、抵抗、容量、電力などの電気特性、および反射、吸収、伝送などの光学特性が含まれます。また、高さ、距離、幅などの自動ウェーハ幾何学測定の機能も備えています。このアセットには、ウェーハ特性をさらに把握するためのさまざまな画像特性評価および分析ツールも含まれています。さらに、ウェーハ温度のリアルタイム測定、ウェーハ構造パラメータの測定、機器の性能監視など、さまざまなプロセス監視機能を搭載しています。これにより、ユーザーは最適なプロセス条件を満たしていることを確認し、必要な値からの偏差をすばやく識別することができます。また、オフラインプロセスデータ分析と組み合わせることで、さまざまなプロセスパラメータやメトリクスを評価することができます。全体として、495はウェーハの分析と特性評価のための統合システムを提供し、ユーザーはプロセスの欠陥と潜在的なソリューションを迅速かつ正確に特定することができます。包括的なイメージング、計測、プロセス監視機能により、幅広い柔軟性と最適化が可能になり、ユーザーは本番環境でのウェーハ歩留まりを最大化できます。