中古 SSM 470i #9157376 を販売中

SSM 470iウェーハ試験および計測装置は、半導体および関連材料の高精度で再現性のある測定を提供するために設計された包括的なシステムです。光検査装置、試験治具、集積データ収集装置の3つの主要コンポーネントで構成されています。光学検査装置は、さまざまな顕微鏡や拡大レンズを使用して、ウェハ表面の線幅、エッチング深さ、表面ひずみなどの細かい特徴を特定し、分析します。これは、ウェーハからサンプリングされた領域の画像を記録し、ソフトウェアアルゴリズムを適用して機能を正確に分類および定量化することによって行われます。試験治具は、サンプルウェーハを光検査装置に正確に配置するように設計されており、最適なイメージング条件を達成するための統合された加熱/冷却機能を提供します。ステッピングモーターとマイクロポジショナーを使用して、ジグは顕微鏡に対してサンプルウェーハの正確なアライメントを確保することもできます。統合されたデータ収集機は、取得したデータをキャプチャして保存する責任があり、最終的にはツールによって生成された計測レポートに使用されます。データ収集アセットには、パラメータの設定、モデルの制御、取得したデータの分析のための組み込みソフトウェアツールも含まれています。470iウェーハテスト・計測システムの光学検査装置、試験治具、統合データ収集装置を組み合わせることで、故障検知、ウェーハ検査、計測分析のための強力で信頼性の高いユニットとなります。高い精度と再現性により、正確で一貫した測定を行うことができ、プロセスパラメータの最適化や歩留まり解析などの重要な下流プロセスに使用できます。