中古 SSM 150 SRP #96656 を販売中

SSM 150 SRPは、ウェーハの物理的および電気的特性に関する高度な統計情報を迅速かつ正確に収集するために設計された、洗練されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、マルチチャネル分光計を内蔵した高性能スキャン電子顕微鏡を備えており、1回の操作で正確な画像処理と化学分析を可能にします。強力なハードウェア、ソフトウェア、独自のイメージングテクノロジーを組み合わせることで、解像度50nmまでのウェーハあたり1000箇所までの同時スキャンが可能です。これにより、スキャン領域の組成、表面形状、欠陥、およびシート抵抗や漏れ電流などの電気特性を含む正確な物理パラメータを測定できます。この情報は、各ウェーハのパフォーマンスの詳細な説明を作成し、効率と歩留まりを向上させるためにプロセスを最適化するために使用されます。さらに、ウエハーの曲率や汚染にもかかわらず画質を維持する独自のオートフォーカスアルゴリズムを搭載し、結果の精度と信頼性を大幅に向上させています。さらに、統合されたマルチチャネル分光計は、電子ビームからの臨界スペクトルデータの収集を可能にします。電子ビームからのスペクトル情報を使用して、元素組成や欠陥特性評価など、原子レベルで起こっていることの原子レベルの画像を構築することができます。150 SRPは高真空で動作可能であり、より長い運用期間のための統合冷却ツールを備えており、試験の信頼性と再現性を向上させます。さらに、高速なデータ取得速度、直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスを備え、プローブやマニピュレータなどのオプションの外付けコンポーネントを備えており、デバイスのテスト機能をさらに拡張します。全体として、SSM 150 SRPは信頼性の高い汎用性の高いウェーハテストおよび計測資産であり、高レベルの統計情報を迅速かつ正確に収集できます。その機能により、ユーザーはさまざまな材料やデバイスをテストすることができ、プロセスを最適化して歩留まりを向上させることができます。