中古 SONOPLOT GIX Microplotter #9303841 を販売中
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ID: 9303841
System
Non-contact deposition
3-Axis positioning with 20µm resolution
Consistent spot size and shape
Coefficients of variability: <10%
Automated surface height calibration
FireWire camera
With integrated digital video capture
Interchangeable holding platen for substrate size
Computer: iMac.
SONOPLOT GIXマイクロプロッタは、半導体ウェーハ材料の電気的および物理的特性を測定するために使用される最先端のウェーハ試験および計測システムです。このシステムは、走査型電子顕微鏡(SEM)、フォーカスイオンビーム(FIB)、レーザスクライブ、赤外線(IR)イメージング、光学分光、原子力顕微鏡(AFM)などのさまざまな技術を利用しています。GIXマイクロプロッタは、ウェーハ材料の表面の非常に高解像度の画像を撮影することができます。これは、それぞれのウェーハをスキャンし、2つのレーザーを同時に表面をスキャンすることによって実現されます。これにより、ウェーハ材料の特性を正確に測定するために必要な、精密なディテールと精度を得ることができます。さらに、SONOPLOT GIXマイクロプロッタは10ミクロン未満の領域が可能で、非常に小さな機能を測定することができます。さらに、GIXマイクロプロッタには高度なFIB機能が搭載されており、ウェーハ表面に材料を堆積および除去することができます。これはウェーハ材料の正確なテストのための表面の特徴の精密な制御を可能にするので、ウェーハのテストおよび測定の重要な用具である。さらに、SONOPLOT GIXマイクロプロッタは、電気特性を測定するために、フライス加工と接点試験を行うことができます。GIX Microplotterは、テスト手順を簡素化するためのソフトウェアパッケージも強化されています。このGUIベースのソフトウェアは、さまざまなパラメータを入力できる使いやすいインターフェイスを提供します。これらのパラメータは機械にプログラムすることができ、機械はこれらのパラメータとガイドラインに基づいてデータを取得します。この機能だけでウェーハテストと計測を大幅に簡素化できます。全体として、SONOPLOT GIXマイクロプロッタは、これまでにないレベルの精度と精度を提供する高度なウェーハ試験および計測システムです。高解像度イメージングからFIBまで幅広い機能を備えており、ソフトウェア主導のGUIによりユーザーのプロセスを簡素化します。GIXマイクロプロッタを使用すると、ウェーハ材料の特性を正確かつ確実に測定できます。
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