中古 SOLVISION Precis 3D #9298870 を販売中
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SOLVISION Precis 3Dは、マイクロおよびナノスケール上のMEMS構造および構造物の表面形状(斜面、粗さ、ステップ高さなど)を測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、メインコンソールと計測ヘッドから構成されており、光学干渉計とスキャンプローブ顕微鏡の両方の機能を備えています。測定ヘッドは垂直および水平の精密運動ユニットに取り付けられており、幅広い測定オプションが可能です。機械の光学干渉計の特徴は3D表面の地形撮影のための放射状のスキャン段階との共焦点の干渉計の組み立てを使用します。干渉計には2つの小さなピエゾアクチュエータが含まれており、サンプルの表面を正確に集中してスキャンすることができます。干渉計からのデータは、サンプルのジオメトリと表面トポグラフィの画像を作成するために使用されます。Precis 3Dツールのスキャンプローブ顕微鏡機能は、マイクロおよびナノスケール上のさまざまな幾何学的特徴と表面粗さを素早く測定するための強力でシンプルなツールです。アセットは、原子力顕微鏡(AFM)を使用して、ナノ構造などのさまざまなサンプルの表面地形を測定します。ピエゾアクチュエータによってスキャン領域を制御するために駆動されるAFMの小さな先端の動きに助けられて、モデルは非破壊的な方法でサンプルをスキャンすることができます。最後に、SOLVISION Precis 3D機器には、高度な解析とデータ処理ソフトウェアが含まれており、ユーザーは画像を迅速かつ正確に分析することができます。ソフトウェアは、オンザフライのデータ補正を実行するだけでなく、分析や通信のためのレポートを生成することができます。要するに、Precis 3Dシステムは、MEMSおよびナノスケール構造における光干渉とスキャンプローブ顕微鏡との間のギャップを埋める、3D表面トポグラフィ測定用の非常に汎用性が高く、正確で使いやすいツールです。このユニットは、自動車産業からバイオメディカルエンジニアリングまで、幅広い産業での使用にも適しています。
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