中古 SOLARIUS LaserScan 300 #293596806 を販売中

SOLARIUS LaserScan 300
ID: 293596806
Laser profilometer Upgraded to laser scan system.
SOLARIUS LaserScan 300は、半導体デバイスとプロセス開発のための高速、正確、非接触計測を提供するウェーハ試験および計測機器です。システムはフルモジュラー設計に基づいており、非常に高いレベルのパフォーマンスを提供します。このユニットはナノスケールの精度を提供し、100ナノメートル以下の特徴を測定することができます。これにより、超浅い接合部、3D構造、サブサーフェス欠陥などの高度な構造の測定に最適です。その高解像度イメージング機能は、基板の特性と欠陥の特定、プロセスの最適化、歩留まりの向上に使用できる機能を包括的に表示します。このツールには、高速、高解像度のスキャナとデュアルビームレーザー光源が装備されており、驚異的な速度と解像度で機能を測定する能力を提供します。これは、走査型電子顕微鏡と、深度プロファイル、電圧測定、位相コントラスト画像などの光学画像の両方に対応する超高精度測定機能を備えています。LaserScan 300には、革新的なデータ分析機能も含まれており、欠陥、パラメータ、除去効果を識別するための強力なツールを提供します。このアセットには、超低プロファイルのウェーハスタッキングモデルも組み込まれており、迅速なサンプル変更と高スループットテストが可能です。さらに、この機器には、サンプルの処理、セットアップ、および各サンプルのメタデータ管理を制御するソフトウェアも含まれています。これにより、オペレータの安全性が向上し、プロセスの各ステージの完全な文書化とトレーサビリティが可能になります。SOLARIUS LaserScan 300は、半導体業界の人々に理想的なソリューションであり、ウェーハのテストとプロセス開発に費用対効果が高く信頼性の高い選択肢を提供します。その高性能機能、高速データ取得、比類のない精度により、最も先進的なウェーハテストおよび計測要件に最適です。
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