中古 SHB INSTRUMENTS 110-2 #9203528 を販売中

SHB INSTRUMENTS 110-2は、さまざまな用途において高性能かつ高精度に設計されたウェーハ試験および計測機器です。その主な特徴は、半導体の小片から大面積テスト、大面積プロセスウエハまで、幅広いウエハの種類を分析できる、完全自動化された2段階の光学試験システムです。このユニットは、効率的で信頼性の高いテストプラットフォームを作成するためにシームレスに統合されたウェーハステージと計測機という2つの主要コンポーネントから構成されています。ウェーハステージは、試験中にウェーハを固定して配置する手段として機能し、薄い基板ウェーハに対応することができます。XYZ軸にウェーハを配置する際にサブミクロン精度を実現できる高精度のモーター付きZステージを搭載しています。ウェーハステージにwaferautoハンドラを追加することで、最大8つのウェーハを試験ステーションに移動することができます。計測ツールは、ウェーハの実際のテストを実行します。高精度の顕微鏡、ハードウェアアクセラレーションセンサー、欠陥領域、厚さ、平坦度を測定する専用ソフトウェアを搭載しています。また、非均一性、非接触、ブリッジ結合、欠陥パターンなどの非視覚表面欠陥を検出することもできます。アセットは、最大3次元（X、 Y、 Z）の同時試験を実行でき、毎秒8サンプルまで動作できます。110-2は0。1 μ mと0。05 μ mの繰り返し精度と再現性で正確な結果を提供するように設計されています。このモデルは堅牢な自動データハンドリングアーキテクチャで構築されており、リセットする前に最大1時間の連続動作が可能です。この信頼性の高い効率的な試験装置により、ユーザーは正確で信頼性の高い結果を迅速かつ簡単に得ることができます。