中古 SENSYS SMS-2000 #144008 を販売中

SENSYS SMS-2000は、要求の厳しい半導体アプリケーション向けに設計されたウェーハ試験および計測機器です。比類のないスピンドルとグローバルプランタリティ、優れた分析およびウェーハエッジ検出機能を提供します。完全に自動化されたウェーハハンドリングとウェーハトランスファーシステムで構築されているため、手動のウェーハテストと計測に関連する労力のかかる作業を削減できます。このユニットは、自動化された物理的および非破壊的ウェーハトランスファーマシン（WTS）、 2つの制御エンクロージャ、2つの手動負荷およびアンロードステーションで構成されています。WTSは精密なモーションコントロールを提供し、試験基板の正確かつ再現性のある転送を可能にします。トラッキングレベルの3つの制御点は、スリットとスピンドルパラメータを測定し、ウェーハを高精度に測定できます。平面解析およびウェーハエッジ検出モジュールは、WTSと統合され、ウェーハの全球平坦度を測定し、エッジ損傷または異物を識別します。SMS-2000は、3D非接触計測、臨界寸法（CD）計測、計測欠陥検査など、さまざまな計測、イメージングおよび試験アプリケーションをサポートしています。さまざまな種類の欠陥タイプやサイズを評価することができるため、高密度内部回路や複数の計測アプリケーションでのICの解析に使用できます。さらに、高速なウェーハ交換レートにより、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスの大量生産に適しています。このツールは、ナノメートルスケールのデバイスを正確に特性評価するための高分解能測定アセットを備えています。光学機能の強化と高出力レーザービームを搭載し、半導体薄膜構造の回折限界画像を高精度に撮影することができます。さらに、独自の多機能解析をサポートしており、従来の単機能解析よりも高速な測定が可能です。SENSYS SMS-2000は、技術的な機能に加えて、堅牢なソフトウェアインターフェイスを提供し、モデルをより高度なソフトウェアスイートに簡単に統合できます。そのユーザーフレンドリーなメニューは、機器の設定やデータ分析に素早く直感的にアクセスできます。さらに、包括的なテスト結果、要約統計、比較データなど、さまざまなレポートを作成するようにシステムを構成できます。全体として、SMS-2000は例外的なウェーハテストと計測ユニットです。セットアップは簡単で、正確な結果を提供し、かつ前例のない信頼性を提供します。その結果、要求の厳しい半導体アプリケーションに最適です。