中古 SDI SPV 1010 #9061419 を販売中

SDI SPV 1010は、半導体ベースのウェーハの品質を評価するために使用されるウェーハ試験および計測機器です。この製品は、表面高さ測定、光学イメージング、表面平面マッピング、フィーチャー特性評価など、さまざまな分析機能を提供します。このシステムの表面高さ測定機能は、ウェーハ表面の正確な3Dイメージングと測定を可能にし、タイトな寸法制御を必要とする超高精度を伴う高度なプロセスを可能にします。正確で信頼性の高い測定を保証するために、このユニットは、正確なz位置決めと3つのZ軸容量性センサを確保するための自動タッチダウン手順を提供します。光学イメージング機能により、ウェーハの表面パターンとトポロジーを詳細に見ることができます。これは、最大20倍の倍率と12。5 µmの横解像度を提供する2つの26 cmイメージングカメラを使用して行われます。さらに、照明装置は、適切な照明のために白色LEDと蛍光灯を備えた明るいケーラー照明を採用しています。このツールはまた、表面平面マッピングを備えており、平坦性、非均一性、分散など、ウェーハの表面地形に関する視覚的および定量的な情報を提供します。アルゴリズムを使用することで、アセットはウェーハ表面の特徴（バンプやボイドなど）を検出することができます。最後に、SPV 1010の特徴特性評価機能により、ウェハの形状、サイズ、構造を理解することができます。これは、必須プロパティ、特徴差別、3D可視化など、さまざまな高度なアルゴリズムを利用することによって達成されます。SDI SPV 1010は、半導体業界における堅牢なウェーハ試験および計測ソリューションです。その表面高さ測定、光学イメージング、表面平坦度マッピング、および特徴特性評価機能により、ウェーハの正確かつ詳細な分析が可能になり、プロセスの最適化と問題の特定を支援します。