中古 SCI FilmTek 4000 #293592737 を販売中
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SCI FilmTek 4000は、高度なウェーハ処理のための正確で信頼性の高いスループット機能を可能にする強力なウェーハ試験および計測機器です。FilmTek 4000は、高度な性能により、標準的なウェーハ試験システムよりも短いサイクルタイムでより高いウェーハ試験結果を得ることができ、高スループットと信頼性の高い結果が不可欠な半導体製造設備に最適です。SCI FilmTek 4000は、200mmおよび300mmウェーハの迅速な試験と測定を可能にする高度なデュアルビーム光学プラットフォームを基盤としています。このシステムは、ウェーハの素早い積載を損傷なく可能にする目的で設計されたウェーハキャリアを使用しており、ユーザーはさまざまなタイプの測定およびテストのためにユニットを即座に再構成することができます。また、ウェーハを素早くロードしてアンロードすることができ、テストサイクル時間を短縮できます。FilmTek 4000は、高度な改良されたユーザーインターフェイスを備えており、高速ウェーハトランスポートとサイクルタイムの最適化を実現しています。高度な光学プラットフォームにより、最大10cm/秒のスキャン速度で、ウェーハ上のフォトリソグラフィーパターンを迅速かつ正確に測定できます。また、ライン、スペース、ブロックなどの異なるパターンタイプのマッピングも可能で、カラーマッピング機能によりデータ精度を向上させます。このツールは、グラフィカル、表形式、およびその他のデータ出力形式の広い範囲を提供し、結果を簡単に分析してレポートすることができます。また、3次元（3D）プロット機能も備えており、テストパターンの3Dプロファイルを評価するために使用できます。この3Dプロット機能は、サブミクロンウェーハ上のパターンの検査に特に役立ちます。SCI FilmTek 4000は、高度なウエハテストと計測機能、高スループットと信頼性の高いパフォーマンスを備えており、幅広い高度なウエハ処理ニーズに対応しています。
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