中古 RUDOLPH WS 3880 #293701811 を販売中

製造業者
RUDOLPH
モデル
WS 3880
ID: 293701811
ヴィンテージ: 2014
Wafer inspection system 2014 vintage.
RUDOLPH WS 3880は、幅広い材料の精密寸法を高精度に測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高解像度の光学顕微鏡、統合スタイラス計測、およびより複雑な測定のためのデジタルビデオメトロジーなど、さまざまな測定ソリューションを提供します。強力な光学ユニットにより、RUDOLPH WS3880はサブミクロンレベルの特徴を一貫した精度で解決することができます。このマシンは、自動画像取得、測定、分析を提供し、ユーザーが独自の測定ニーズを迅速化することができます。厚さ30mmまでの薄型ウエハをはじめ、幅広いサンプルを正確に測定できるデュアルステージテーブルを備えています。直感的なユーザーインターフェイスにより、ツールを簡単にカスタマイズ、設定、操作して、目的の測定値をすばやく簡単に識別できます。このアセットには、1倍から10倍の倍率を持つ16倍の顕微鏡やオプションのCCDカメラなど、さまざまな光学部品を含む高解像度イメージングモデルが搭載されています。この高度に構成可能なセットアップは、十分に制御されたイメージング機器を介して高レベルの画像解像度を提供することができます。オプションのCCDカメラを使用すると、静止画やビデオをキャプチャすることができ、高速な動きや急速に変化する機能の測定にも使用できます。このシステムは、スタイラス、光学、ビデオ計測など、さまざまな計測オプションを提供しています。スタイラス計測により、高い再現性と分解能の限界を持つ0。1 umまでの微細な測定が可能になります。光学計測ユニットは、レーザー干渉計を使用して、最高精度と精度の合計測定を行い、最も複雑な機能を測定するためのデジタルビデオ顕微鏡を使用しています。機械の標準的な特徴に加えて、任意付属品とのユーザーの変更の条件を満たすことはまた拡張可能です。これには、アクティブ振動分離やPVDフォースセンサーなどの追加の計測機能のためのさまざまなセンサーとプローブが含まれます。ジョブマネージャなどの機能を使用すると、ユーザーは繰り返しタスクのカスタム測定計画を開発して保存できます。自動化されたステージキャリブレーションにより、ステージが常に適切に配置され、信頼性と再現性の高い結果が得られます。WS 3880は、半導体製造および研究所の監視および計測に適した信頼性の高い汎用性の高いツールです。その高精度、再現性、および50 umポインティング精度により、ウェーハ試験および計測に最適なソリューションです。
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