中古 RUDOLPH WS 3840 #9392887 を販売中
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RUDOLPH WS 3840は、ウェーハ機能の高感度分析のために開発された最先端のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、優れた精度と再現性が光学技術とX線技術の組み合わせに基づいているため、研究者によって評価されています。高度な光学・X線技術を駆使し、厚み、線幅、エッジの鋭さ、パターンの均一性など、ウェーハの様々な特性を高解像度で画像・測定します。RUDOLPH WS3840は計測モジュール、プローバプラットフォーム、ソフトウェアパッケージで構成されています。計測モジュールは、光学顕微鏡、SEMユニット、充電結合デバイス（CCD）検出器、ステージ位置決めユニットなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。機械の光学モジュールは可視光を使用して、サンプルを高倍率範囲（最大25,000X）で観察し、ウェーハ上の特徴の輪郭と位置を測定します。このツールのSEMユニットはX線分析を行い、そこで電子ビームをサンプルに送り、その領域の画像を生成します。CCD検出器は、光学モジュールとSEMユニットの両方によって生成された画像から情報を取得し、ウェハ上の特徴を定量的に測定することもできます。最後に、プローバプラットフォームはウェーハトランスポートとサンプルハンドリングを処理し、測定モジュールとプローバの間をウェーハを移動させることができます。資産のソフトウェアパッケージは、データの取得、処理、および結果の分析を可能にします。さらに、ウェーハの向きやタイプにとらわれないウェーハアライメントを自動化し、ステージの位置決め精度や再現性を向上させました。これは、装置の複数のエラーチェックと補正機能によって強化され、オペレータに課せられたエラーが軽減されます。その他の機能には、カスタマイズ可能なデータベーステクニックがあり、カスタマイズ可能なデータの保存と長期的な結果の保存を可能にします。また、内蔵の安全インターロックや放射線遮蔽など、高度な産業グレードの安全および制御機能も備えています。これにより、ユニットが出荷されたウェーハに損傷を与えないため、コストのかかる損失や損傷を防ぐことができます。WS 3840は非常に洗練されたウェーハ試験および計測機械であり、ウェーハ機能の特性評価に関する高度な研究の要求に応えるように特別に設計されています。精度、安全性、分析の面でさまざまな機能と機能を提供し、ウェーハの高感度機能を測定するための信頼性と汎用性の高いツールです。高解像度の光学技術とX線技術を1つのツールに組み合わせることで、WS3840は時間に敏感で費用対効果の高い方法で信頼性の高い正確な結果を提供することができます。
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