中古 RUDOLPH WS 3840 #9198059 を販売中

RUDOLPH WS 3840
製造業者
RUDOLPH
モデル
WS 3840
ID: 9198059
Automatic optical inspection machine.
RUDOLPH WS 3840は、半導体デバイスの製造、プロセス開発、プロセス制御用に設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、幅広い高精度なテストとプロセス制御機能を提供し、ユーザーはウェーハプロセスのすべての側面を効率的に検査および分析することができます。このユニットには、ハイエンドのコンピュータ制御顕微鏡が搭載されており、高速ズームが可能で、高速焦点電動の目的と、顕微鏡とデータ収集を指示するためのインタラクティブソフトウェアパッケージが含まれています。顕微鏡の高品質光学は、優れた場の均一性とエッジの歪みを低減し、サンプル特性を最も正確に分析することができます。光学設計では、革新的な4x5x10 mm、 0。08 μ mテレセントリックレンズを使用して、極端な倍率でも前例のない解像度と精度を提供します。このマシンは、高解像度イメージング、自動エッジ検出、統合されたスペクトルイメージング、高精度の回折イメージング、幅広いパターン認識アルゴリズムなど、さまざまな自動試験および計測技術を備えています。このツールには、焦点距離、写真サイズ、位置、絞りサイズ、焦点タイプなどの顕微鏡パラメータを自動的に校正および選択するためのソフトウェアモジュールも装備されています。このアセットは、ウェーハ検査、フォトリソグラフィ、エッチング、ドライストリップ、ウェットストリップ、欠陥レビューなど、製造プロセスのさまざまなステップを詳細に分析するためのプラットフォームを完全に制御します。このモデルはまた、オーバーレイ計測やダイ画像のビニング、臨界寸法計測など、テストされたサンプルを迅速に検査するためのいくつかの方法も提供しています。装置は、測定と検査が困難な小さな機能を扱う場合でも、ナノメートルレベルで正確な測定を提供することに焦点を当てています。このシステムは、0。2〜0。5nmの解像度で詳細を解決するように設計されており、ユーザーは高精度な結果を得ることができます。さらに、このユニットのソフトウェアは高速かつ正確なデータ取得のために設計されており、最大8つのウェーハを同時にテストおよび監視することができます。要するに、RUDOLPH WS3840は非常に汎用性が高く、正確なウェーハテストと計測機です。強力な顕微鏡、自動試験および計測技術、革新的なソフトウェア機能を備えたこのツールは、半導体業界の正確な測定に最適です。
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