中古 RUDOLPH WS 3800 #9114024 を販売中

RUDOLPH WS 3800は、最大200mmウェハテスト用に設計された強力なウェハテストおよび計測機器です。バックサイド検査、欠陥検査、オーバーレイ測定、電気試験などの高解像度計測機能を備えた、完全自動化されたハイスループットシステムです。WS 3800は、ウェハの向き、スキャン、配置、およびロードを組み合わせた、完全にコンピュータ化されたロボットマルチウェハハンドリングユニットを備えています。1台のプラットフォームウェーハ試験機で、精度を下げることなく、一度に最大16個のウェーハを処理できます。RUDOLPH WS 3800は、コンピュータ化されたツールにいくつかの高度なアルゴリズムを組み込み、テスト中の精度と速度を確保します。WS 3800は、各ウェハの前面と背面の両方を測定できる高度な計測スイートを提供します。標的欠陥検査、線幅測定、オーバーレイ登録、膜厚測定、欠陥数分析、電気試験など、さまざまな高解像度イメージング機能を備えています。この資産は、水、油、塵などのさまざまな種類の汚染物質を検出して区別することもできます。さらに、RUDOLPH WS 3800は、ウェーハ全体の温度変化を検出することができます。WS 3800はまた、ウェーハバイウェーハテストをサポートし、高速ウェーハソートモデルにより、正確さを犠牲にすることなく、より迅速な結果を保証します。このウェーハ試験装置は、特定の試験ニーズや要件に合わせてカスタマイズおよび変更することもできます。RUDOLPH WS 3800は、時間をかけて信頼性の高い性能を提供するように設計されており、物理的な衝撃や振動に抵抗するためにテストおよび検証されています。複数のウェハハンドリングシステムは、ロードロック加速度モニタリング、レーザー保護システム、ウェハ認識用の赤外線センシングなど、安全性に配慮して設計されています。最後に、ウェーハテストと計測を簡素化する完全統合ソフトウェアスイートが付属しています。このソフトウェアは、ユーザーが素早くカスタマイズされたレシピを構築し、テストパラメータを調整し、テスト結果を比較することができます。WS 3800は、ユーザーがウェーハを迅速かつ正確にテストおよび分析できる包括的なウェーハテストおよび計測機です。自動化された複数のウェーハハンドリングツールと高度な計測機能により、さまざまなユーザーや業界に適しています。