中古 RUDOLPH WS 2500 #9244849 を販売中

RUDOLPH WS 2500
製造業者
RUDOLPH
モデル
WS 2500
ID: 9244849
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2003
Wafer inspection system, 8" 2003 vintage.
RUDOLPH WS 2500は、リソグラフィやイオン注入などの高度なウェーハ処理アプリケーション向けに特別に設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。ウエハレベルのフラット基板と曲面基板の両方に高度なサンプル検査機能を提供します。ウェーハの厚さ、幅、高さ、表面粗さの均一性を幅広いウェーハサイズで測定するのに特に適しています。ユーザーフレンドリーな光学系および人間工学的設計を備えた高精度の光学顕微鏡を備えており、迅速かつ信頼性の高いサンプル横方向および高さイメージングを容易にします。高度なアルゴリズムは、取得した画像を処理し、決定的なパス/フェイル解析レポートを提供するために使用されます。このユニットは非常に汎用性が高く、ガラス、石英、さらには銅など、さまざまなウェーハを分析することができます。直径180mm、厚さ65mmまでの薄型ウェーハの試験が可能です。さらに、機械は自動レベリングを可能にし、オペレータの作業面がなくてもステージがレベルになるようにします。このツールは、ウェーハとサンプルのアライメント精度を確保するために、手動および自動アライメントの両方を提供し、エッチストップテスト、サンプル非対称性の測定、1/2次元の均一性および膜厚試験を可能にします。また、ウェハの曲率半径を非接触測定することも可能です。1 Angstrom以下の高さ感度レベルでも使用できます。このアセットは、堅牢性と耐振動性を兼ね備えた産業用フレーム構造を備え、信頼性と堅牢性を考慮して設計されています。また、高感度かつ高精度で、アライメントエラーを最小限に抑え、効果的なウェーハのトレーサビリティのための一貫したテストデータを提供します。ユーザーインターフェイスは使いやすさに最大限の注意を払って設計されています。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)により、ユーザーは簡単かつ迅速にテストを作成、設定、実行できます。さらに、データ取得および分析ソフトウェアは、ユーザーフレンドリーな形式で提供されます。WS 2500は、高度なウェーハ処理に最適な、卓越したウェーハテストおよび計測モデルです。幅広い機能、汎用性、最高の精度を備えており、高精度と信頼性を必要とするあらゆるアプリケーションに最適です。
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