中古 RUDOLPH WS 2500 #9096699 を販売中

RUDOLPH WS 2500は、ウェーハパラメータを正確に測定できるように設計されたハイエンドのウェーハテストおよび計測機器です。ロードポート、統合されたウェーハハンドリング、ウェーハプローバ、光学計測ユニットを備えた完全自動化されたシステムです。WS 2500は、実際のデバイス構造の評価と、完成したデバイスの歩留まりと信頼性に関連するさまざまなプロセスパラメータの特性評価を可能にします。RUDOLPH WS 2500には、ウェーハ上の関心のある特徴を測定するための高解像度/高精度光学計測機が含まれています。測定ツールには、ナノからミクロン、および非均一な位置の特徴サイズを測定できる可変焦点付きの精密スキャナが含まれています。アセットの分解能は最大0。5 nm、再現性は0。2 nmです。それはデータを分析し、解決を考案するのに使用することができるさまざまなソフトウェアモジュールおよびプログラムが装備されています。統合されたウェーハハンドリングモデルは、損傷と廃棄物を最小限に抑えてウェーハの正確な位置決めを保証するように設計されています。この装置にはデュアルデッキのオートローダーが装備されており、2つのウェーハを同時に挿入して高速アクセスとローディングを行うことができます。統合されたプローバは、自動化されたウェーハ測定手順に加えて、ウェーハの迅速な配信が可能です。ウェーハプローバは、抵抗や表面形状などの多数のパラメータを高精度で測定することができます。WS 2500は、プロセスのパラメータを評価し、欠陥を診断および防止し、完成品の歩留まりと信頼性を確保したいウェーハ製造企業に最適です。このシステムは、プロセスを監視し、収量を改善しようとする研究機関や大学にも適しています。堅牢な設計と統合されたソフトウェアモジュールは、表面粗さ、電気的および光学的特性評価、プロセス監視、平坦度分析、統計分析など、さまざまなアプリケーションを可能にします。これにより、プロセスの最適化、故障解析、新製品の開発などについての洞察を得ることができます。