中古 RUDOLPH S3000 #9389593 を販売中

RUDOLPH S3000は半導体および高度の包装の生産ラインで使用するために設計されているウェーハのテストおよび測定装置です。半導体ウェーハの精密かつ包括的な解析を提供し、全自動の光学およびX線ベースの計測システムを使用しています。S3000は、非破壊光学イメージングとさまざまなX線プロービング技術を使用して、粒子/欠陥密度、寸法、材料特性などのさまざまなパラメータを測定します。自動化されたウェーハテスト機能には、革新的なダイコーナー検出ソフトウェアと、ウェーハ全体の材料バリエーションを検出する機能が含まれます。このシステムには、ウェハバッチ全体を迅速かつ正確に評価できる高度なウェハマッピング機能も含まれています。さらに、RUDOLPH S3000は、統合された品質追跡とレポート機能を備えており、迅速で効率的なプロセス管理を促進します。このユニットには、リアルタイムでプロセスパラメータを継続的に監視および分析するために、幅広い自動統計モデルベースのツールが含まれています。この高度な分析機能は、生産ラインの改善と歩留まり向上の機会を迅速かつ正確に特定するのに役立ちます。S3000は生産性を念頭に置いて設計されています。高速で大判なX線画像装置を採用しており、迅速なウエハ移動や解析が可能です。この機能により、1つのウェーハ上で複数の領域を迅速に再配置および検出し、ウェーハのスループットを高速化できます。RUDOLPH S3000は、主に大量の半導体生産環境を対象としています。SEMI E155などの安全規格に準拠しており、SEMI CENTRA、 OArCS、 RPCPortなど、多くの標準ホストインターフェイスと互換性があります。このツールには、さまざまなウエハサイズと構成に対応するための幅広いオプションインターフェイスとアクセサリも含まれています。全体として、S3000は高精度で信頼性の高い試験および計測資産です。これは、生産プロセス全体にわたって均一性と一貫性を確保するために、幅広い自動ウェーハテスト機能を提供します。大量の半導体生産ラインでの使用に最適で、生産性と安全性を念頭に設計されています。