中古 RUDOLPH S3000 #9389592 を販売中

RUDOLPH S3000
製造業者
RUDOLPH
モデル
S3000
ID: 9389592
Thickness measurement system EFEM.
RUDOLPH S3000 Wafer Testing and Metrology Equipmentは、半導体およびオプトエレクトロニクス業界の試験および計測アプリケーション向けに設計されたハイエンド自動化ソリューションです。S3000システムは、迅速かつ正確なテスト、計測、分析のためのソフトウェアとハードウェアをシームレスに統合したプラットフォームを提供します。このソフトウェアは、最高のスループットでインラインおよび自動生産テストおよび計測アプリケーションのデータを管理、分析、提示することができます。RUDOLPH S3000ユニットは、多軸、高スループットプロービングマシンを備えています。このツールは、半導体ウェーハのプロービング静電放電(ESD)、電気測定、マイクロストレス工学、ストレステスト、プロービング測定など、さまざまなウェーハプロービングアプリケーションに対応するようにカスタマイズできます。この資産には、ユーザーが測定プロトコルをすばやくプログラムできるようにする、構成が簡単で完全に統合されたソフトウェアアプリケーションも付属しています。S3000モデルとスイス製の高精度リニアアクチュエータが組み合わされており、X、 Y、 Z軸で正確で低ノイズ、低振動のプロービング動作を提供します。これにより、プロービング精度と再現性が向上します。また、高精度測定用に設計された高解像度の3軸高感度触覚プローブヘッドも備えています。位置制御リニアアクチュエータは、任意の角度と向きで正確に定義された距離ステップでウェーハを横断することができ、光学エンコーダはウェーハ表面全体で正確な非接触スキャンを保証します。このユニットには、さまざまな基板材料の断面ウェーハ測定アプリケーション用の高度なイメージング、測定、分析ツールが装備されています。これは、あらゆるタイプの半導体ウェーハのマッピング、検査、イメージング、校正プロセスおよび製品ジオメトリのための計測および解析アルゴリズムの豊富なライブラリを備えています。RUDOLPH S3000マシンは、ウェーハアダプタとフラットベッドセルだけでなく、標準およびカスタム設計のプローブカードとモジュールの両方をサポートしています。また、Carl Zeiss MMS 5500などの主要なデスクトップ計測システムと容易に統合できます。これにより、データの迅速な実装とシームレスなアライメントが保証されます。S3000ツールは高度にカスタマイズ可能で、さまざまなプロジェクトの要件を満たすために選択できるさまざまなソフトウェアおよびハードウェアコンポーネントを備えています。この柔軟性により、RUDOLPH S3000は、電気特性、応力、その他の特性のテスト、計測分析、生産プロセスの監視など、さまざまなアプリケーションに最適です。
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