中古 RUDOLPH S200 #9157249 を販売中

RUDOLPH S200は研究室、産業および生産のテストの適用の使用のために設計されているウェーハのテストおよび測定装置です。革新的な設計により、これまでにない精度で超薄型ウェーハの電気抵抗と静電容量を正確に測定できます。RUDOLPH S 200システムは、200mm AFM 6 MHzの8ビット精密電流測定ヘッドを備えており、幅広い試験電圧と最大16の再現可能なサンプリングポイントをサポートします。独自の2軸ウェーハレベリングユニットとリニア測定タイムベースを組み合わせることで、薄型ウェーハと厚型ウェーハの両方の非接触試験を正確かつ再現できます。操作が簡単な大型タッチスクリーンディスプレイも採用。精度と再現性を向上させるために、S200は測定前にテストヘッドを素早く正確に原点に設定する負のゼロ化プロシージャを備えています。このプロセスにより、適用された電流に対するウェハの応答が正確に測定されます。このツールはまた、高度な測定アルゴリズムを使用して、長期テストでも収集されたデータの精度と再現性を保証する高速測定アセットを備えています。S 200はまた、超薄型ウェーハのイメージングと欠陥のない表面の詳細な解析を可能にする高性能の光学計測および解析機能を備えています。角度分解散顕微鏡を使用して、欠陥を検出し、サブミクロン分解能で正確に測定します。さらに、RUDOLPH S200は、エッチング深度特性評価および臨界寸法（CD）測定のための最新のウェーハ測定を提供します。全体として、RUDOLPH S 200は、薄くて厚いウェーハに比類のないレベルの精度と再現性を備えた研究室、工業および生産試験アプリケーションを提供しています。その革新的なスキャンヘッドは、最適な精度と再現性を考慮して慎重に設計されており、ハイエンドの光学計測および分析機能により、ユーザーは比類のない精度で表面欠陥とCD測定を迅速かつ簡単に検出および測定できます。