中古 RUDOLPH MP3-300A #9401492 を販売中
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RUDOLPH MP3-300Aは、高度な半導体製造プロセスで使用するために設計されたハイエンドのウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、臨界寸法（CD）やプロファイル、および表面粗さ、表面形状、欠陥分類などのウェーハパラメータの範囲を含む重要な測定が可能です。このユニットは、高精度で再現性のあるダイレクトドライブステージと、洗練された光学セットアップに基づいています。これにより、機械は高い精度と精度でウェーハを測定し、反復可能な結果を提供することができます。MP3-300Aはユニークな4方向パターン認識ツールを備えており、欠陥を迅速かつ正確に検出および識別することができます。検査プロセスのこの重要な段階は、ウェーハ表面の状態に関する重要なデータを形成する光学と照明の統合ツールによって支援されます。これらの結果を他のシステムやプロセスと共有して、ウェーハの状態をさらに把握することができます。この資産は、データの出力と分析の面でも包括的です。チャート、グラフィック分析、ヒストグラム、トレンド分析、レポートなどのさまざまなオプションを使用して、ユーザーが高品質の生産と運用を保証するために必要なすべての重要なデータにアクセスできるようにします。このモデルでは、さまざまな3D表面検査も可能です。これを可能にするために、装置は専門にされた点検の頭部、段階および調査の口径測定を含む付属品の大きいコレクションを含んでいて、それはウェーハの全面的な状態の完全で、正確な査定を提供することを可能にします。さらに、RUDOLPH MP3-300Aの大型タッチスクリーンモニターは、簡単で直感的な操作を可能にします。これにより、最小限の労力と入力でセットアップを行うことができ、ウェーハの迅速かつ正確なテストが可能になります。さらに、このシステムは生産とスループットの面で柔軟に設計されています。これは専用の「ジョブセレクタ」タスクを介して実行され、再現可能な実行のためのユニットを自動化して最大の効率を実現します。要するに、MP3-300Aは高精度と精度の様々なパラメータを測定するように設計されたハイエンドウェーハ試験機です。このツールは、欠陥の迅速かつ正確な識別を保証し、洗練された3D表面検査と結果の分析を可能にします。さらに、このアセットはセットアップと操作を支援するさまざまな機能を提供し、高品質の出力と最大スループットを保証します。
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