中古 RUDOLPH MP2 #9397717 を販売中

RUDOLPH MP2は、高度なウェーハ試験および計測機器です。集積回路ウェーハの物理パラメータを測定するためのシンプルで高速かつ正確な方法を提供します。このシステムは、ひずみ、平坦度、弓、ねじれ、ユニットレゾナンス、さまざまな電気パラメータなどのウエハの特性を考慮して、最高の精度でウェーハ機械的特性を測定することができます。MP2は、プロービングとポジショニングのための単一のスキャンガントリーと4軸設計を使用しています。マシンコンポーネントには、真空チャッキングツール、高精度ステッピングモーター、センサーベースのキャリブレーション、高帯域幅レーザースキャニングヘッド、調整可能な真空プレート、交換可能なツールマウントが含まれます。また、大型の高解像度タッチスクリーン、インストールとキャリブレーションを格納する堅牢なセットアップユーティリティ、統合ソフトウェアスイート、高度なオートメーション制御も含まれています。真空チャッキングアセットにより、ウェーハと真空プレートの摩擦係数を低く保ちながら、ウェーハを真空プレートに確実に固定できます。この容量により、RUDOLPH MP2の高帯域幅レーザースキャンヘッドを使用した高度な測定が可能です。ヘッドは、最大500 ダイ/mm2の物理パラメータを測定することができます。ステッピングモータとセンサベースのキャリブレーションモデルにより、測定動作ごとに正確な位置決めが可能になり、繰り返し設定する必要がなくなります。調節可能な真空板は測定位置の容易な調節を可能にします、交換可能な工具台紙は付加的なモジュールの容易な関係を可能にします。MP2機器はまた、直感的なデータ収集と分析のための堅牢なソフトウェアスイートを採用しています。自動化された制御オプションにより、ユーザーは多数の異なるテストプロシージャからウェーハテスト結果をimort、 analyze、およびレポートすることができます。RUDOLPH MP2システムは、集積回路ウェーハの物理パラメータを効率的かつ正確に測定する方法を提供し、チップメーカーが潜在的な問題を検出し、製品歩留まりを改善することを可能にします。セットアップ、使用、メンテナンスが簡単な強力なウェーハテストおよび計測ツールです。