中古 RUDOLPH MP 300 #9388218 を販売中
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RUDOLPH MP 300は、製造プラントや研究開発ラボ(R&D)に最適な、専門的に自動化されたウェーハ試験および計測機器です。ウェーハの表面形状特性、寸法、電気特性を測定する機能を備えています。半導体デバイス業界で最も困難なフィルムやコーティングの試験に最適化された特許取得済みの計測技術と統合されています。この技術には、輪郭スキャン、電圧コントラストイメージング(VCI)、および国際規格に準拠した高品質の測定を提供する傾斜測定が含まれます。さらに、リアルタイムの現場データを提供する光学計測、ウェーハの詳細な欠陥特性評価などの機能を備えています。1。5ナノメートルの精度で最大8inまでのウェーハをスキャンします。このユニットは、蒸着プロセスのモニタリング、欠陥解析、エッジ測定、非接触抵抗測定、低kまたは高k誘電膜厚測定などの幅広い測定タスクを実行するように構成することができます。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を使用すると、実験を素早く開始、制御、監視し、さまざまな計測タスクを簡単に設定できます。このマシンには、自動ツールサポート、カメラ制御、データストレージ、自動レチクルなど、さまざまな機能が含まれており、オペレータが迅速かつ正確に結果を得ることができます。RUDOLPH MP300はまた、優れた測定精度と欠陥分解能を保証する独自の光学イメージング技術を使用しています。アセットの設計はオープンアーキテクチャに基づいており、既存のシステムと簡単に統合できます。モジュール性により、ユーザーは個々の測定要件に合わせてさまざまなモジュールから選択することができます。最高の効率を確保するために、モデルには高い忠実度の測定装置が組み込まれています。アクティブなフィードバック制御、ウェーブスキャン、その他の高速メソッドなど、業界で最も先進的な技術が組み込まれています。これは、均一で正確な結果を保証するのに役立ちます。また、手作業による介入を減らし、ユーザのキャリブレーションの必要性を排除することで、ワークフローとコスト削減を強化します。MP-300は信頼性の高い正確な試験結果を提供し、プロセス制御の改善につながります。ウェーハの表面特性または欠陥に関する包括的なレポートをユーザーに提供します。このユニットはまた、すべての主要な業界認定を満たす高品質の測定結果に対する信頼できる評判に裏打ちされています。
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