中古 RUDOLPH Metapulse #9157665 を販売中
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RUDOLPH Metapulseは、製造プロセス中のウェーハの性能と品質を監視するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。表面粗さ、直線性、ウェハ厚、エッチング率、ピッチおよび位置精度、パターン精度、クリティカル寸法、表面形状、原子密度、表面汚染など、幅広い特性を測定できます。このシステムは、エネルギー分散X線分光法、走査型電子顕微鏡、光熱イメージング、レーザー干渉計、焦点イオンビームイメージング、臨界次元走査型電子顕微鏡、ナノSEMなど、さまざまな物理的および電気的測定と計測を利用しています。これらのツールにより、RUDOLPH META PULSEは、ウェーハ構造の非常に詳細な画像を提供し、1ナノメートル以上の精度で検査を検出します。このユニットはまた、オペレータが欠陥を迅速に診断し、最終製品に影響を与える前にパラメータを処理するための調整を行うことができるいくつかの高度な機能を備えています。これには、画像の強化、自動ルール、リアルタイムのピーク/バレー検出、輪郭解析を提供する高度な欠陥検出スイートが含まれます。さらに、ユーザーは、表面解析、ダイレベルメトロロジー、層解析、パッケージマッピング、応力およびひずみ測定などのさまざまなアプリケーションに、コンテキスト固有のツールを迅速に使用できます。メタパルスマシンは、マイクロエレクトロニクス、太陽光発電、マイクロメカニカルおよび医療機器製造など、さまざまな業界に適した高度な機能を備えた包括的で高精度なウェーハ試験および計測ツールです。非開示ポリシーによって保護された資産は、最高品質の製品を最も効率的に提供するための研究開発にも使用できます。
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