中古 RUDOLPH MetaPulse 300 #9098968 を販売中
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RUDOLPH MetaPulse 300は、高度な多目的ウェハテストおよび計測システムです。300mmウェーハチャックを使用し、in-situ計測オプションと幅広い電気試験機能を備えています。チャックは、フルスケーリング円周、ハーフウェーハ、ステップ、曲率中心、曲率半径、高さなどのウェーハ特性をユーザー定義のパラメータに従って迅速かつ正確に測定およびレポートするように設計されたエアベアリングです。metaPulseによってモーターを備えられるチャックは手動または自動化された操作の選択を提供します。測定の再現性と信頼性を最大限に高めるために設計されています。MetaPulse 300はまた、マイクロサイズのダイ上の回路をテストするための電気試験スピンステーションの範囲を提供します。必要なインタフェースに応じて、標準のコンタクトプローブを介して、または静電容量、フォースイメージング、圧電、高輝度LEDマイクロタップなどの非接触技術を使用してテストを行うことができます。より自動化されたソリューションのために、RUDOLPH MetaPulse 300は、柔軟な移動とロボット位置の正確な制御を可能にし、電気テストの精度を保証するロボットオートメーションソリューションを提供します。MetaPulse 300には、オプションの共焦点イメージングと光学測定もあります。この高度なイメージング技術は、デバイス表面に3D表面の地形、欠陥、および非均一性をキャプチャし、それらをリアルタイムで表示します。UV、リング、ハロゲン、レーザーなどの照明は、最適なイメージングと計測のための照明源の選択を提供します。全体として、RUDOLPH MetaPulse 300は、ウェーハテストと計測に包括的なソリューションを提供し、最も厳しい性能要件を満たす高速で信頼性の高いソリューションを提供します。迅速な開発サイクル、高速プロトタイピング、および望ましいアプリケーションのためのより高い工場スループットを容易にするように設計されています。さらに、直感的なユーザーインターフェイスとソフトウェア最適化ツールは、専門的な知識や専門知識を必要とせずにタスクを迅速に完了できることを意味します。
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