中古 RUDOLPH MetaPulse 300 Cu #9233986 を販売中

ID: 9233986
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
Thin film measurement system, 12" 2001 vintage.
RUDOLPH MetaPulse 300 Cuは、RUDOLPH Technologies、 Inc。の高度なウェーハ試験および計測機器です。ウェーハサイズと形状の広い範囲の分析のための最大の性能と精度のために設計されています。このシステムは、高解像度イメージング、パターン認識、統合設計ルールチェック(DRC)などの幅広い機能を提供し、集積回路機能の包括的な電気テストを提供し、業界標準を満たしています。さらに、インダイ欠陥検出、地形測定、ライン幅の測定など、高度な計測機能を備えています。MetaPulse 300 Cuには、最新のレーザーおよび光学技術を組み込んだモジュラー設計があります。このマシンは、高密度(2µm)から高性能(10µm)まで、さまざまなウェーハに使用できます。このツールは、異なる厚さのウェーハに対応するために異なる厚さに調整可能なレーザー干渉計アセットを組み込んでいます。高解像度画像や複雑なパターンを撮影できるカメラ機器と、精度を高めるロボットアームを搭載しています。最大画素サイズは512×512ピクセルで、最大視野は46 mm×46 mmです。このユニットには、コンポーネントの自動整列、画像取得の最適化、テスト結果の計算など、プロセスステップを自動化する高度なソフトウェアも含まれています。このマシンは、複数のデータ層を持つウェーハの複数の層を分析することができ、それによって電気試験結果が業界標準に達していることを保証します。このツールは、イーサネット、USB、光などの幅広い接続オプションも提供しています。さらに、この資産には包括的なサポートパッケージがあり、オンサイトメンテナンスパッケージ、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、包括的なテクニカルサポートが含まれています。RUDOLPH MetaPulse 300 Cuは、ウェーハ試験および計測業界の最も厳しい要件を満たすように設計された汎用性の高いモデルです。パフォーマンス、精度、利便性を兼ね備えているため、自動ウェハテストと計測に最適です。
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