中古 RUDOLPH MetaPulse 200X #9147690 を販売中
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RUDOLPH MetaPulse 200Xは、マルチコンフィギュレーションの計測およびウェーハ試験装置です。高精度の計測機能と柔軟なアーキテクチャを組み合わせることで、お客様の多様な要求に対応します。このシステムは、幾何学、電気パラメータ、薄膜厚など、さまざまなウエハ特性を測定することができます。MetaPulse 200Xの中心は、高精度のステージとスキャン光学系です。この組み合わせにより、計測データを迅速に取得するためのダイナミックでスケーラブルで汎用性の高いプラットフォームが提供されます。ステージはサブミクロン精度で6軸での移動が可能です。この光学系には、さまざまな用途に対応するいくつかの異なるレンズとフィルターが装備されています。ユニットはまた、特定の測定タスクのために設計された様々な治具やアクセサリーを備えています。RUDOLPH MetaPulse 200Xは、さまざまな表面解析技術を実行し、基板、結晶、微細加工部品などのさまざまな材料を検査することができます。内蔵の計測ソフトウェアにより、ユーザーは簡単にいくつかのタイプの測定を実行し、包括的なレポートを生成することができます。MetaPulse 200Xには、完全に自動化されたウェーハプローブステーションも含まれています。この機能により、テスト基板の電気的属性を簡単にテストできます。また、光学顕微鏡やレーザースキャニング共焦点顕微鏡などの高度な表面イメージング技術も搭載しています。最後に、RUDOLPH MetaPulse 200Xは、最新のクリーンルーム製造環境向けに設計されています。その頑丈な構造は、過酷なクリーンルーム環境での堅牢なパフォーマンスを保証します。さらに、このツールの最先端の安全機能は、最大限のオペレータ保護を提供します。MetaPulse 200Xは、最も要求の厳しい産業ニーズのために設計された高度なマルチコンフィギュレーションメトロジーおよびウェーハテスト資産です。高精度のステージとスキャン光学系、幅広い治具やアクセサリーを備え、高い精度と精度でさまざまなウエハ特性を測定することができます。さらに、完全に自動化されたウェーハプローブステーションと最先端の安全機能により、RUDOLPH MetaPulse 200X、最新のクリーンルーム製造環境に最適です。
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