中古 RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu #9300364 を販売中

RUDOLPH MetaPulse 200X-Cuは、製造業界のニーズに合わせて特別に設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。ウェーハ検査時の精度、再現性、感度に優れ、汎用性と比類のない測定機能を備えています。このシステムは、特許取得済みの2Dレーザー検査を利用しています。これは、表面を非接触でナノメートル分解能でスキャンするウェーハ表面の地形を検査する方法です。この検査結果は高精度であり、ウェーハの地形を遠隔で観察・測定することができ、より一貫した品質管理が可能です。高度な2Dレーザー技術により、ウェーハ表面の傷などの収差を迅速に検出することも可能です。RUDOLPH METAPULSE 200XCUは、長さ、半径、ピークツーバレー、傾斜、非対称性、平坦性、インダクタンス、およびその他のウェーハパラメータを迅速に測定するための統合された機械を備えた高効率の自動3Dウェーハメトロジーユニットを備えています。このツールは、1秒あたり最大6面の測定が可能で、SEMI M1/M7仕様に準拠しており、さまざまなウェハサイズと形状にわたって迅速かつ正確な測定が可能です。さらに、ウェーハの質量を同時に測定しながらウェーハプロファイル形状と表面欠陥を測定およびマッピングする先進的で非破壊的な方法である、世界最先端のSONAR技術を組み込んでいます。また、ウェーハ表面の幅、厚さ、変形などを定量的に測定、定量化、観察することができます。さらに、高精度の自動パターン認識記録システムを搭載しており、マイクロクラック、トレンチ、ファインマーキングなどの高精度パターン欠陥を迅速に検出できます。このユニットは、平坦性、対称性、Zチルト、傾き、および丸みなどの他の重要なウェーハパラメータを同時に監視することもできます。さらに、高速データ転送機能をサポートし、複数のシステム間で迅速かつ簡単にデータを共有することができます。この機能により、分析および報告に要する時間を数分に短縮し、品質保証プロセスを大幅にスピードアップします。全体として、METAPULSE 200X CUは、収差の迅速な検出、正確で再現可能な測定、および高速データ交換を提供する高度なウェーハテストおよび計測ツールです。製造業のニーズに最適な資産です。