中古 RUDOLPH MetaPulse 200X-Cu #9238326 を販売中

RUDOLPH MetaPulse 200X-Cuは、高速で信頼性の高い非破壊的なウェーハ評価を容易にするように設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、表面欠陥検出、断面測定、プロセス制御のための包括的なツールを独自に組み合わせて提供します。本製品は、大型ウエハの自動取り扱いのためのパターン認識ユニットと5軸モーションプラットフォームを搭載した、フル機能のVision Robotic Substrate Handler （VRSH）を搭載しています。また、高性能な平面外光計測ヘッドと多層光学ヘッドを統合し、ウェーハフィルムおよびプロセス機能を迅速かつ正確かつ非破壊的に評価します。200X-Cuは、高度な超高真空システムと独自の非破壊画像技術を使用して、欠陥を画像化し、ウェーハパラメータを測定してサブミクロンの精度を測定します。このツールはまた、さまざまな測定や実験のためのさまざまな位置や方向にウェーハサンプルを正確に配置することができる高精度のステージ制御アセットを備えています。さらに、ウェーハサンプルの自動プロービングを実行して表面欠陥や地下欠陥を検出し、特定の微細構造の膜およびトポロジーの厚さと組成を測定するためにも使用できます。200X-Cuはさらに、高度なパターン認識アルゴリズムの配列を統合して、個々のピクセルの変動を検出し、ウェーハのパターン欠陥を検出します。その結果、ユーザーはプロセス内の欠陥を修正するために積極的なステップを踏むことができます。RUDOLPH METAPULSE 200XCUは、生産サイクルの早い段階で欠陥を特定して対処するために設計された効率的なウェハテストおよび計測機器です。効率的な自動化と高精度ウェーハ処理技術により、ウェーハ特性を迅速かつ正確に検査および測定することが容易になります。