中古 RUDOLPH MetaPulse 200 #9300362 を販売中

RUDOLPH MetaPulse 200
ID: 9300362
ウェーハサイズ: 6"
Thickness measurement systems, 6".
RUDOLPH MetaPulse 200は、半導体製造における精密リソグラフィ処理用に特別に設計された最新のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高度な高性能コンポーネントに必要な高精度の寸法測定と、ウェーハ表面の微細な特徴を測定する機能をユーザーに提供します。RUDOLPH META PULSE 200のコア技術は、専用設計のアームに取り付けられた一連のカメラと反射器で構成されています。このアームは、ウェーハを迅速にサンプリングするためのグリッドを内蔵し、カメラはテストサンプルへの自動アライメントを可能にします。このグリッドにより、MetaPulse 200はウェーハ表面上のフィーチャーのサイズ、位置、形状を測定することもできます。リフレクターは、ウェーハから散乱した光をキャプチャし、CMOSイメージングセンサーと組み合わせて、サブミクロン精度で正確な寸法測定を行います。META PULSE 200はウェーハ表面の特徴の有効な、急速で、正確な測定を可能にします;ライン/スペース、橋/ゲート、および穴の地域を通して、また踏み付けるステップのような特別な特徴を含んで。RUDOLPH MetaPulse 200は、シリコン、Low-kおよびHigh-k誘電体、ファインおよび厚膜誘電体、銅、金、チタン、および低温ポリシリコンから作られたウェーハなど、幅広いサンプルタイプの測定に対応しています。RUDOLPH META PULSE 200は、ユーザーがウェーハフロントエンドで生産性を高めることができる高度に自動化されたウェーハテストおよび計測ユニットです。高度なコンピュータビジョンアルゴリズムとモーションコントロール解像度を備え、ウェーハ表面のフィーチャーのサイズと形状を正確に測定します。さらに、MetaPulse 200には、ユーザーがテスト結果を解釈および分析するのに役立つ高度なデータ分析ソフトウェアが装備されています。これにより、製造されたコンポーネントが指定された歩留まりと性能要件を満たしながら、ユーザーにリアルタイムのフィードバックを提供します。META PULSE 200は、ユーザーが高性能で高収量の部品を製造するのに役立つ最先端のウェーハ試験および計測機です。サブミクロン精度、幅広いサンプルタイプ、高度なコンピュータビジョンおよびモーションコントロール機能を提供し、信頼性の高いリアルタイム試験結果をユーザーに提供します。
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