中古 RUDOLPH MetaPulse 200 #293664997 を販売中

RUDOLPH MetaPulse 200
ID: 293664997
ヴィンテージ: 2005
Film thickness measurement system 2005 vintage.
RUDOLPH MetaPulse 200は、さまざまな基板および計測材料を処理するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ユーザーが特定の要件を満たすために自分のプロセスを調整することができるように、高精度のスキャンおよびイメージング技術の広い範囲を備えています。RUDOLPH META PULSE 200は、正確なパターニングとテスト機能を備えているため、さまざまなアプリケーションで多数のウェーハ材料を分析することができます。MetaPulse 200は、高解像度ステッパーと干渉計を備えた統合ウェハレベル計測ユニットを備えています。ウエハ表面を最大8インチまでスキャンすることができ、1ミクロン以下の寸法を正確に測定することができます。ステッパーは、X、 Y、 θ軸の速度と位置を制御して、カスタムパターンとアライメントプロセスを可能にします。さらに、このマシンの干渉計は、表面の仕上げ品質を評価するための表面地形の正確な測定を提供します。META PULSE 200には、ユーザーが手作業で正確なデータを収集できる自動測定ツールが搭載されています。光学三角測光や共焦点イメージングを介して非接触ウェーハ計測を行うことができます。自動化されたアライメントモジュールとソフトウェアにより、干渉計をウェーハの表面に正確に合わせることが容易になります。RUDOLPH MetaPulse 200は、複数の試験および計測要件を満たすように設計されています。ウェーハパターニング、表面粗さ、サイズと形状、ジオメトリ測定など、さまざまなテストを実行できます。さらに、このアセットは迅速かつ正確なデータ取得と操作機能を提供し、ユーザーはテスト結果を迅速に分析して解釈し、生産と品質管理を向上させることができます。RUDOLPH META PULSE 200は、大規模な基板の試験に適した信頼性と汎用性の高いツールです。精密測定に加えて、安全で効率的な作業環境を提供するように設計されています。室内の温度・湿度を一定に保ち、最適な性能を発揮するため、循環空調装置を装備しています。統合されたソフトウェアは、計測データを監視、分析、ログ、および保存することができ、ユーザーに詳細な処理と品質レポートへのアクセスを提供します。
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