中古 RUDOLPH FE VII/IV #9412377 を販売中

RUDOLPH FE VII/IV
製造業者
RUDOLPH
モデル
FE VII/IV
ID: 9412377
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2002
Thickness measurement system, 8" 2002 vintage.
RUDOLPH Fe VII/IVウェーハ試験および計測装置は、半導体産業でシリコンウェーハ製造に使用される高精度で精密な試験装置です。この検査および計測ソリューションは、自動化されたウェーハテストと診断を容易にします。ウェーハのフォルト状態を検出し、性能を評価し、品質管理データを提供して生産プロセス全体を改善するように設計されています。2msの高速サイクルタイムにより、高い精度で再現性と再現性を実現します。RUDOLPH Fe VII/IVは指向性マッピングを提供し、ウェーハの表面プロファイルを取得し、ほんの数点から総厚さを計算することができます。また、10nmまでの膜厚測定が可能で、低ノイズウエハにも有利です。この機械は、ダイスタンピングからライン幅、層の厚さ、めっき、計測まで、さまざまな種類の試験項目を評価することができます。さらに、このツールは、非接触評価のための高度な機能認識アルゴリズムとアルゴリズムを備えています。RUDOLPH Fe VII/IVはモジュラーデバイスであり、ユーザーの要件に応じて多数のオプションをアセットに統合できます。これらのオプションには、CD/OCD測定アドオン機能、応力測定ソフトウェア、およびカソドルミネッセンスアドオンが含まれます。RUDOLPH Fe VII/IVは、LIS、 SECS-II、 GEMなどのデータ処理システムに接続できます。このモデルには、インタラクティブな制御を提供し、ユーザーが機器をナビゲートするのに役立つグラフィカルユーザーインターフェイスも付属しています。結論として、RUDOLPH Fe VII/IVは、シリコンウェーハの製造を成功させるために不可欠な、信頼性が高く、ユーザーフレンドリーで強力なシステムです。正確な測定と特徴認識、自動化されたプロセス評価などの汎用性の高い機能により、ウェーハテストと計測のための優れたツールであることが証明されています。
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