中古 RUDOLPH FE VII/IV #9373048 を販売中

RUDOLPH FE VII/IV
製造業者
RUDOLPH
モデル
FE VII/IV
ID: 9373048
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2002
Thickness measurement system, 8" 2002 vintage.
RUDOLPH FE VII/IVは、研究開発(R&D)および生産アプリケーションの両方のために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、裏面と前面の両方で非接触ウェーハ検査用の汎用性の高いプラットフォームを提供します。このユニットは、さまざまな直径とパッケージタイプをサポートしており、さまざまなプロセスの不適合を検出するためのセンサーと測定ヘッドを豊富に取り揃えています。粒子欠陥濃度、表面形状、電気特性、化学組成、エッチング深さなどのウェハレベル特性を測定することができます。最先端の独自技術とマルチセンサーイメージングにより、ウェーハの高速検査と表面計測が可能です。最大30 x 30 cm2/ダイの検査が可能で、最大8つのセクションをサポートするように設計されているため、高速かつ正確なデータ抽出が可能です。さらに、新しい顕微鏡画像の取得により、非接触測定機能と非接触測定機能の両方を提供します。このツールはまた、可変スキャン速度と加速プロファイルを備えたユニークな特許取得済みの多軸スキャン技術も提供しています。これにより、すべての曲率が排除され、生産および設計ファブのウェーハ性能を評価する包括的なダイレベルレポートが保証されます。さらに、高速CMOSラインスキャンカメラと広視野の助けを借りて達成される300mm/秒までのデータ取得とスキャン速度を持っています。さらに、EWIツールスイートを備えた組み込みソフトウェアパッケージを提供し、半導体ウェーハを迅速に分析および評価することができます。また、画像セグメンテーションと識別のための統合された視覚解析モデルも提供します。さらに、レポートの自動生成、ラベル付け、欠陥分類、および統計分析のための包括的なツールを備えています。最後に、ロボットグリップ、マシンビジョン、その他のロボット機能などのオートメーションツールも多数搭載されています。結論として、RUDOLPH FE VII/IVは、非接触および非接触ウェハ検査のための比類のない精度と速度を提供する強力なウェハテストおよび計測機器です。先進の独自技術とマルチセンサーイメージングを組み合わせ、研究開発から生産アプリケーションまで幅広いダイヤモンドウェーハ検査をサポートします。一連の統合ツールにより、半導体ウェーハを評価および分析するための高速で信頼性の高い包括的なプラットフォームを提供します。
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