中古 RUDOLPH AVP / Autopol V Polarimeter #9164947 を販売中

RUDOLPH AVP/Autopol V Polarimeterは、ナノメートルレベルの精度で正確な厚さ計算を可能にする高性能ウェーハ試験および計測装置です。このシステムは、サンプルの厚さと屈折率の両方を測定するための高度な光学干渉測定技術を採用し、垂直伝送設計に基づいています。2つのレーザー源を使用しており、広範囲の材料にわたってナノメートルレベルの分解能で約1nmから600 μ mの厚さの範囲を測定できます。入射光の偏光は、試料の前に配置されたA偏光器によって濾過され、研究対象物質の屈折率の関数として光の角度の変化を測定することができます。これにより、サンプルの厚さと材料の屈折率を正確に計算することができます。光学構成は、2つのレーザー源、光検出器、および偏光ビームスプリッタで構成されています。2つのレーザー光源は1つのサンプルを同時に測定し、オペレータは信頼できる厚さの測定を得ることができます。検出された信号は、非線形検出器の応答を補正するために、線形検出器応答補正モジュールを介して渡されます。補正された信号はデジタル化され、材料の厚さと屈折率を計算するために使用される高性能の数値プロセッサに供給されます。さらに、AVP/Autopol V Polarimeterは自動校正プロセスを備えており、各サンプル測定で信頼性の高い結果を保証します。Autopol Vにはいくつかのユニークな機能が搭載されているため、ウェハテストや計測アプリケーションに特に有利です。幅広い製造工程や製造工程に容易に統合できるように設計されています。機械には、自動位置検出、自動焦点調整、サンプルの自動搬送など、いくつかのオートメーション機能も装備されています。さらに、統合されたエラー制御および補償システムは、最高レベルの精度と信頼性を確保するように設計されています。全体として、RUDOLPH AVP/Autopol V Polarimeterは、卓越した性能と精度を提供する信頼性の高い正確なウェーハテストおよび計測ツールです。その先進的な機能により、市場で最も先進的なシステムの1つであり、ウェーハテストおよび計測アプリケーションに最適です。