中古 RUDOLPH / AUGUST S3000SX #9305282 を販売中

ID: 9305282
Thin film measurement system, 12" 2011 vintage.
RUDOLPH/AUGUST S3000SXは、高度なウェーハ計測機能を提供するウェーハテストおよび計測機器です。これは、最大300mmウェーハの正確な測定を提供するように設計されています。ウェーハステージと自動真空シーラーシステムを内蔵し、ウェーハハンドリングと位置決めを向上させます。AUGH S3000SXには、ビームアライメントを自動化した高精度レーザーユニットとリアルタイムイメージングを搭載し、正確かつ再現性の高い測定が可能です。このマシンは、高度なオプトエレクトロニクス測定技術を使用して、より高い解像度と精度を実現しながら、コスト効率の高いスループットを実現します。複数の光学サブシステム、レーザダイオード、および高速測定およびより高い柔軟性のための高い数値の開きが装備されています。RUDOLPH S3000SXは、線幅、ステップ高さ、オーバーハング、欠陥プロファイルなど、さまざまな測定が可能です。このツールを使用すると、2つの検査パラメータを同時に取得できます。高度なオプトエレクトロニクス測定は、低ノイズレベルと高分解能で実行されます。また、20nmの解像度からウェーハ上の小さな欠陥を検出する機能も提供します。S3000SXは、様々な検査・測定ニーズに対応した幅広い専門品も取り揃えています。このアセットは、さまざまなテストおよび計測目的でカスタマイズできます。標準的なウエハテストおよび分析プロセスに加えて、エッジ検査、コーナー検査、画像解析などの特殊な製品を提供し、ウエハ表面の詳細な情報を取得することができます。このモデルには、ウェーハ機能の検査および測定に使用されるCCDカメラも付属しています。カメラは高解像度で、高精細な情報をキャプチャすることができます。また、LFOV (Large Field of View)とAdvanced Focus Control (AFC)を搭載し、高速かつ正確な測定が可能です。RUDOLPH/AUGHT S3000SXには、各ウェーハの機器を迅速かつ正確に設定するためのキャリブレーターも装備されています。また、分析のためにスキャン結果を保存したり、品質保証監視のための広範なデータを保存したりすることもできます。全体として、AUGHT S3000SXは高度なウエハテストおよび計測ユニットであり、正確な測定、高速測定、強力なオプトエレクトロニクス機能を提供します。このツールは、機械をカスタマイズして特殊な測定を行うことができるため、正確で効率的で費用対効果の高いウェーハテストと計測機能をお探しのお客様に最適です。
まだレビューはありません