中古 RUDOLPH / AUGUST 3Di 8500 #9283331 を販売中

ID: 9283331
Wafer inspection system, 12" 2008 vintage.
RUDOLPH/AUGUST 3Di 8500は、効率的な方法で迅速かつ正確で信頼性の高い結果を提供するように設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、幅広いウエハ検査および特性評価機能を提供し、金型表面の特徴と欠陥特性の完全な概要を提供します。このユニットは、さまざまなテストに使いやすいインターフェースを提供する、コンパクトで手作業で簡単に操作できるプラットフォーム上に構築されています。高解像度イメージングと自動画像キャプチャを備えた高度な光学技術と、精密アライメントと正確な計測のための3D補償機能を備えています。AUGUST 3Di 8500を使用すると、平らな正方形のウェーハ、曲線、三日月、テーパーウェーハなど、さまざまなサイズと形状のウェーハを分析するための検査パラメータを最適化できます。高度な光学系は、カスタマイズされた機能を示す高品質の画像を提供し、ユーザーは正確にウェーハの欠陥を評価し、分類することができます。機械はまた結節、ヒロック、汚れ、粒子、しわおよびピットのような多くの表面の欠陥と互換性があります。RUDOLPH 3Di 8500は、スペーサーの高さと幅を測定する優れた3D機能も提供します。このツールの追加機能には、品質管理をエスベリッシュするための粗さとサイドウォール角度の両方を測定する機能、および厚さ、幅、および均一性を評価するためのエピタキシーおよび分離構造の分析が含まれます。また、高精度の計測と低倍率イメージングモードにより、0。6 µmまでの機能を精密に検査できます。3Di 8500は、信頼性の高いウェーハテストと計測モデルを探している業界および教育施設に最適です。これは、高度な光学技術と自動画像キャプチャだけでなく、使いやすいインターフェイスでウェーハの欠陥を評価し、分類する機能を提供しています。この装置はユーザーフレンドリーで、高精度の計測機能を備えており、正確で信頼性の高いウェーハ検査と特性評価を可能にします。
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