中古 RUDOLPH / AUGUST 3DI 8000 #9206004 を販売中
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RUDOLPH/AUGUST 3DI 8000は、優れた分析および試験データを提供するように設計された完全自動ウェーハ試験および計測装置です。応力、ひずみ、電気特性、材料特性など、さまざまなパラメータを測定することができます。さまざまなデータ収集技術を使用して、さまざまな半導体材料および構造の物理的、機械的、熱的、および電気的性能を測定できます。AUGH 3DI 8000には高精度レーザー干渉計システムが搭載されており、最大0。1ナノメートルの解像度でウェーハの表面プロファイルを3軸で正確に測定および特徴付けることができます。また、C-MOSセンサーを搭載した高解像度のXYRIS 4ステージメトロロジーマシンを搭載しており、3軸すべての視野を提供し、0。1ミクロンの解像度で線幅、周期性、欠陥/ボイドなどの様々な特徴を測定することができます。このツールはまた、コリメートされたレーザービームアセットを使用して応力とひずみの測定を行うことができます。ここで、レーザーはサンプルの光学効果を励起し、応力とひずみによる変形を検出します。また、静電容量、インダクタンス、抵抗などの様々な電気特性の非接触測定も可能です。RUDOLPH 3DI 8000は、自動化されたルーチンを管理するための強力なグラフィカルユーザーインターフェイスも提供します。ユーザー定義のテンプレートを使用すると、あらかじめ設定されたウェーハおよびサンプル特性を使用して、パラメーターをすばやく変更できます。高速データ取得、画像取得、処理、高度な計測機能により、3DI 8000はウェーハ上の欠陥などの欠陥を迅速に分析および検出できます。RUDOLPH/AUGUST 3DI 8000は、最先端の半導体材料について、業界をリードする精度で包括的な試験を行うことができるコンパクトで自己完結型の装置です。その高度な非接触試験と自動化ルーチンは、半導体材料の分野の研究者やエンジニアにとって理想的です。
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