中古 RUDOLPH / AUGUST 3DI 8000 #293761475 を販売中

RUDOLPH/AUGUST 3DI 8000は、高度なウエハテストおよび計測機器です。ウェーハ上の半導体デバイスの幾何学的特性の測定に最適な精度と精度を提供することができます。半導体デバイス機能の光学顕微鏡と干渉測定の両方を提供します。このシステムは、特別に設計された3軸の干渉顕微鏡と精密ステージを組み合わせて、ウェーハ測定用のイメージングユニットを作成します。この顕微鏡は、2つの横方向と1つの直交変位を3次元で測定できる2つの横方向の干渉計を含むベースで構成されています。この顕微鏡はまた、高精度で垂直寸法または深さを測定するために使用されるコリメートビームを備えています。また、大型ウエハエリアを高精度にスキャンできる精密ステージを搭載しています。AUGH 3DI 8000は、高い振動感受性を備えた堅牢なツールです。このアセットは、最大1。5ナノメートルの高解像度と最大0。2ナノメートルの再現性を提供します。ウェハレベルでの半導体構造の3次元情報の高速かつ正確な測定が可能です。RUDOLPH 3DI 8000には、ユーザーに結果の包括的なグラフィカル表示を提供する高度な画像解析ソフトウェアが含まれています。ソフトウェアはまた、機器でキャプチャされたデータを分析し、取得した画像を参照画像と比較するために使用することができます。この画像処理ソフトウェアは、取得したデータを可視化し、さらにデータ分析を行うことができます。3DI 8000は、高いスループット測定と幅広い測定機能を提供します。それは専門の研究開発の仕事のための理想的な選択です。また、生産試験および品質管理アプリケーションにも適しています。このシステムは、新開発の半導体材料の性能と信頼性を分析するのに最適です。