中古 RITEC RAM 1000 #293609564 を販売中
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RITEC RAM 1000は、抵抗、ウェーハ厚、ドーパント濃度、欠陥など、さまざまなウェーハ特性を正確かつ確実に測定するウェーハ試験および計測機器です。イルミネーションとイメージングを組み合わせた独自の光学設計を採用し、高精度な3D情報を得ることができます。このシステムは、コヒーレント光源と高度な光学系を使用して、ウェーハの物理的および光学的特性を測定します。ウェーハ表面からコヒーレント光を反射して干渉パターンを取得します。干渉パターンを解析して、2D画像の角度依存振幅と3D画像の高さ依存振幅を検出します。また、Pixel Accumulatorを使用して、ウェーハの絶対表面プロファイルを高速かつ高解像度で正確に測定します。RAM 1000は、大きなサンプルエリア(最大400mmのウエハサイズ)や高速スキャナなど、機械的なスキャンステージの必要性を排除するいくつかの重要な機能を備えています。これにより、機械的スキャンを必要とせずに、ウェーハ特性を迅速かつ正確に測定できます。また、様々な画像解析や高さ測定機能を搭載しており、欠陥の迅速かつ正確な検出が可能です。このツールはまた、高度な分析と自動化されたプロセス制御機能を多数提供し、高性能ウェーハの迅速かつ効率的な生産を可能にします。これには、自動2D画像解析、3Dコンフォーマルマッピング、ウェハパターン認識、抵抗測定、化学物質マッピング、ウェットエッチング深さ測定などの高度なスキャン技術が含まれます。RITEC RAM 1000は、大量生産および品質管理アプリケーション向けに優れた選択肢であり、さまざまなウェハ特性に対して信頼性の高い正確な測定を提供します。これにより、高速で信頼性の高いウェーハ測定を必要とする半導体メーカーやウェーハ試験施設に最適です。アセットも使いやすく、メンテナンスも簡単で、ダウンタイムを最小限に抑え、生産性を最大限に高めます。
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