中古 REVERA RVX 1000 #9383475 を販売中
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REVERA RVX 1000ウェーハ試験および計測システムは、集積回路の検査、テスト、測定、およびプロセス特性の測定に使用される革新的な機械です。RVX 1000は、高精度の光学イメージングを利用して、幅広い表面条件や地形にわたる微細なディテールを正確に検出することができます。さらに、統合されたソフトウェアモジュールは、高度な欠陥検出機能を可能にします。REVERA RVX 1000は、いくつかの異なるコンポーネントで構成されています。光ヘッドは、周波数可変ダイオードレーザーを使用して集光ビームを作成します。レーザーをサンプルステージに送り、ウェーハを正確に位置決めしてイメージングします。これは、天然および合成ルビーを備えた高効率の多軸システムによって行われ、ビームがサンプル表面と正確に整列することを保証します。レーザーとステージの結合特性をスポットサイズセンサに伝達することで、ウェーハの高解像度イメージングをナノメートルスケールまで実現します。レーザーの強度はさまざまな条件やサンプルの種類に合わせて調整可能ですが、ステージにはレンズの損傷を防ぐセーフモード機能もあります。RVX 1000で取得した画像は、PCI対応の高性能ソフトウェアで解析できます。不具合の検出は、倍率が異なる2次元と3次元の両方のフォーマットで行うことができ、検出された不具合のサイズと使用される画像の種類の両方を制御することができます。さらに、REVERA RVX 1000は、自動ウェハマッピングと寸法測定のための特殊なアルゴリズムも備えています。RVX 1000は、集積回路検査および試験の精度と信頼性を向上させるために開発された画期的な機器です。その高度なイメージング技術により、幅広い欠陥検出機能が可能になり、強力なソフトウェアスイートにより、ユーザーは正確なニーズに合わせて分析をカスタマイズできます。
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