中古 REHDER ET-3 #293657669 を販売中

REHDER ET-3は、ウェーハの直径300mmまでの高スループット測定を提供するウェーハ試験および計測機器です。これは、単一のシステムで最高のスループット、精度、および汎用性を兼ね備えています。ET-3ユニットには最新の光学および多機能ツールが搭載されており、ほぼすべてのタイプのウェーハを測定できます。パターン識別用の低倍率イメージングと、解像度ベースの測定用の高倍率イメージングを組み合わせた独自の「デュアルビュー」マシンを採用しています。また、赤外線カメラ、可視カメラ、レーザープロファイラ、3D顕微鏡など、複数のオンボードセンサーを備えており、zの深さ、臨界寸法、フィーチャープロファイル、表面の質感、粒度などのパラメータの測定において比類のない柔軟性を提供します。REHDER ET-3ツールは、複数の交換可能なステージを備えており、さまざまな温度およびさまざまな大気中で高速なサンプル交換と測定を可能にし、幅広い試験および製造環境に最適です。マルチチャンネルオプティクスを使用して、ダイツダイ測定の速度を向上させると同時に、試験片のずれによる廃棄物の防止にも役立ちます。このアセットは、自動化されたサンプル処理とアライメントを利用して、処理時間を短縮し、スループットを向上させます。ET-3向けの高度なソフトウェアスイートは、一般的なウェーハの特性評価から高度なフィーチャー分析まで、幅広い分析機能を提供します。同一の測定時間で包括的な特性評価データを提供するように設計されており、リアルタイムでプロセス補正を最適化できます。REHDER ET-3は、高度なツールと機能と強力なソフトウェアスイートを組み合わせたユニークな組み合わせを提供し、ウェーハの品質を向上させるための貴重なツールです。このモデルの高性能、高精度、汎用性により、半導体産業の品質管理、試験、研究開発に最適です。