中古 PHOSEON MX1002 #9226706 を販売中

PHOSEON MX1002は半導体産業のためになされる上限のウェーハのテストおよび測定装置です。ウエハー、シリコンチップなどの基材の特性を測定するために設計されています。このシステムは、レーザー干渉計と光学プロファイリングを使用して基板の高解像度イメージングを行う高度な光学計測ヘッドを備えています。大面積の層間計測、膜厚測定、高倍率での欠陥検出などの試験を行います。このユニットは、X軸とY軸の両方で最大2000mmの移動を可能にする7軸キネマティクス設計を備えています。これにより、広い測定領域が可能になります。また、光学ヘッドは最大倍率250xの可変焦点距離と、最大40mWまでの調整可能なレーザーパワーを提供します。光学機器自体は、高精度のアライメントコンポーネントを使用して校正および構築されています。MX1002には、距離測定用のデジタルリニアエンコーダ、画像解析用の64チャネル静電容量センサ、温度補償付き静電容量センサを備えた最先端のセンサスイートも装備しています。このセンサスイートは、表面粗さから深さプロファイルまで、幅広い測定を提供します。PHOSEON MX1002はまた、センサーから収集されたデータを分析するために設計された強力なソフトウェアスイートを使用しています。このソフトウェアには、高度な統計分析機能と、データの後処理のための強力なツールが含まれています。ソフトウェアにはスキャンレコーダー機能も含まれており、標準レートよりも最大20倍の高速データを保存できます。MX1002は、半導体業界のニーズに応えるために設計された強力なツールです。高精度の光学系、複雑なセンサスイート、強力なソフトウェアにより、さまざまな基板を正確かつ迅速に測定することができます。