中古 OKURA DP 2301A01 #9227172 を販売中

OKURA DP 2301A01 Wafer Testing and Metrology Equipmentは、幅広い半導体ウェーハ特性を測定するための高度な試験および計測ツールです。このツールは、製造プロセス中のウェーハの迅速な計測とインラインテストを可能にします。モジュラー設計により、最大4つの計測ヘッドと2つのプローブが同時にウェーハ表面全体をナノメートルの精度で測定できます。ライン幅、スペース幅、電圧しきい値、波形、インピーダンスなど、さまざまな電気パラメータを正確に測定できます。さらに、このユニットは主要なプロセス制御システムと容易に統合し、生産作業への自動フィードバックを提供します。DP 2301A01機には、必要なスキャンヘッドを備えた多軸モーションステージが含まれています。これにより、計測ヘッドの高精度な動作が保証され、ウェーハ表面全体をスキャンしながら10ナノメートルエラーレート内の精度を維持します。このツールはまた、毎秒50メートルのスキャン速度と最大4つの計測ヘッドと2つのプローブで200mmのウェーハをスキャンする能力を提供します。アセットの統合制御ソフトウェアにより、包括的なテスト手順をウェーハの特定のニーズに合わせて調整できます。データ収集、信号処理、計測ヘッドの校正のためのハードウェアとソフトウェアライブラリの両方を備えています。さらに、ウェーハ処理とプロセス統合のためのI/O制御、リアルタイム制御および適応可能なプロセス自動化、およびフル機能のレポート機能を備えています。OKURA DP 2301A01 Modelは、計測結果を保存するための統合データベース管理も提供しています。これにより、ユーザーはウェーハのパフォーマンスの傾向を時間とともに監視し、詳細な欠陥追跡を得ることができます。また、プロセストレース、トレース生成、統計制御の保存も可能です。さらに、ハードウェアとソフトウェアの完全性を保護し、適切なシステム動作を保証するためのさまざまな安全性と診断機能を備えています。全体として、DP 2301A01ウェーハテストおよび計測ユニットは、高精度で信頼性の高い結果を得るように設計された高度なツールです。モジュール構造と高度なソフトウェア機能により、半導体メーカーと研究室の両方のウェハテストおよび計測ニーズに対応する強力なソリューションとなります。